フォトリソ工程の塗布~露光~現像・エッチング、検査まで、ラボ用半導体製造装置をワンストップで提供

スピンコーター

スピンコーターで使用可能な角(□)や丸(Φ)以外の形状の基板に対応できる試料台(チャックホルダー)には、どのような種類がありますか?

2014年11月14日 金曜日

 

カットした基板や異形基板、フイルム用、スライドガラス用、ディスク用に対応した試料台(チャックホルダー)の作製実績もございます。お客様が使用される基板サイズに合わせて試料台(チャックホルダー)をご案内しております。まずはお気軽にご相談ください。

 

その他FAQ 試料台(チャックホルダー)

 

御社のスピンコーターでSiウェハー以外の物に塗布可能ですか?

2014年11月14日 金曜日

 

硝子、フイルム、レンズ、ディスク等への実績がございます。

 

最大試料サイズでどれ位厚い基板まで使用できますか?

2014年11月14日 金曜日

 

厚みについては、各機種の最大対応基板サイズで2㎜程度を想定しております。2㎜以上の厚みがある基板についてはご相談ください。

 

 

標準的な試料台(チャックホルダー)などはありますか?納期はどれくらいですか?

2014年11月14日 金曜日

MS-B100、MS-B150、MS-B200用標準試料台がございます。標準試料台に合わないサイズの場合は、基板サイズに合わせて試料台をご提案致します。またMS-Aシリーズでも使用可能でございます。標準試料台の納期は1週間ほどとなります。
詳しい試料台の種類は弊社技術特設サイト【スピンコーター塗布機.com】サイト内の試料台(標準)を参照下さい。
スピンコーター塗布機.com試料台(標準)はこちら。

 

【その他FAQ 試料台(チャックホルダー)】

スピンコーターを購入前に成膜(デモ)や使用方法などの確認をさせていただきたいのですが可能ですか?

2014年11月14日 金曜日

全機種用意がございます。来社もしくは貸し出しにてご対応をしております。詳しくはサイト内【ワークテスト】を参照の上、お問い合わせ下さい。ワークテストはこちら。

MS-B200密閉型

2014年10月3日 金曜日

MS-B300

2014年9月26日 金曜日

MS-B200

2014年9月26日 金曜日

MS-B150

2014年9月26日 金曜日

MS-B100

2014年9月26日 金曜日
お問い合わせはお気軽に!フォトリソグラフィ.comを、ご覧頂きまして誠にありがとうございます。成膜・露光装置等のことなら「フォトリソグラフィ.com」にお任せ下さい!