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スピンコーター

スピンコーター成膜データ MS-B200密閉型

2017年5月12日 金曜日

【密閉型・オープン型角基板成膜分布比較画像】

<密閉型>  
スピンコーター成膜データ MS-B200密閉型 
膜厚測定装置FILMETRICS製F50
レジストOFPR-800LB(東京応化社製)
基板サイズ65×65mm
膜厚分布±0.7%
<オープン型>  
スピンコーター成膜データ MS-B200オープン型 
膜厚測定装置FILMETRICS製F50
レジストOFPR-800LB(東京応化社製)
基板サイズ65×65mm
膜厚分布±19.6%

 

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スピンコーター成膜データ MS-B200

2017年5月12日 金曜日
スピンコーター成膜データ MS-B200 
膜厚測定装置FILMETRICS製F50
レジストOFPR-800LB(東京応化社製)
基板サイズΦ8インチシリコンウエハ
ターゲット膜厚1μm
膜厚分布±0.5%

 

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スピンコーター成膜データ MS-B100 (レジスト:OFPR-800LB)

2017年5月12日 金曜日
スピンコーター成膜データ MS-B100 
膜厚測定装置FILMETRICS製F50
レジストOFPR-800LB(東京応化社製)
基板サイズΦ4インチシリコンウエハ
ターゲット膜厚1μm
膜厚分布±0.8%

 

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スピンコーターエッジ・バックリンス動画

2018年3月13日 火曜日

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スピンコーター用滴下・エッジ・バックリンス動画

2018年3月13日 火曜日

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スピンコーター用レジスト滴下装置 滴下動画

2017年5月12日 金曜日

膜厚を常に一定の厚み(分布)にコントロールするためには回転数、回転時間、カップ内雰囲気(溶剤雰囲気)の3つが特に重要になります。更に膜厚分布の管理を追求していくと滴下量、カップ内の形状(風切・排気・試料台の形状)、温度、湿度、基板面平行度、滴下液の温度、滴下液の濃度、滴下液の揮発性、ベーク温度、ベーク温度の分布ムラなど様々な要素を管理する事で均一な成膜が可能となります。

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スピンコーター成膜処理動画

2017年5月12日 金曜日

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MS-B300密閉型

2015年3月19日 木曜日

スピンコーターで簡易的に現像できませんか?

2018年5月23日 水曜日

対応しておりません。成膜装置ですから現像の様な多量の液を流すための構造となっておりません。

御社のスピンコーターはグローブBOX内で使用可能ですか?

2014年11月14日 金曜日

窒素雰囲気下での使用実績がございます。

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