製品案内

マスクアライナー（露光装置）

フォトリソグラフィ.comでは、スピンコーター（塗布機）からマスクアライナー（露光装置）、現像・エッチングの研究用ラボ機を取り扱っております。
また、測定として、膜厚測定、段差、線幅・形状測定の各種測定機も取り扱っております。

φ4インチ基板対応モデル

●マニプレーターステージが±50㎜可動しアライメント位置合わせが容易
●可動部にセンサーを設ける事により誤動作を防止
●軽量設計　※当社MA-10比較
●マスク落下防止用引出板付　※マスクガラス仕様に応じて作製
●不定型サイズの基板にも対応　※真空吸着試料台を基板に応じて作製

最大基板サイズ			φ4インチ
最大基板厚			2mm
最大マスクサイズ			5×5インチ
UVランプハウス			コリメータータイプ
照度			＞8mW/c㎡(at405nm)
照度均一性			＜±8.5％
露光光源			UVランプ250W
露光波長			ブロードバンド(g・h・i線)
有効照射面			φ4インチ
露光用タイマー			0～999.9秒　タイマーセット式
UVランプ劣化補正機能			取付不可
アライメントスコープ			二視野顕微鏡対物レンズ間隔18～60mm
顕微鏡解像度			1.2μm 対物レンズ20×使用時
アライメントギャップ測長機能			取付不可
コンタクト方法			ソフトコンタクト/ハードコンタクト
操作部			タッチパネル式
インターロック機構			マスク・ウエハ吸着 Z軸下限位置スコープスイングUP・DOWN位置マニプレーター引出ステージ位置
マニプレーター移動範囲			X・Y±6.5mm　微動0.025mm1回転 θ:50°　微動±5° Z:10mm　微動0.025mm1回転
十字動ステージ移動範囲			X・Y±50mm
電源			AC100　50/60Hz　9A
ユーティリティ			エアー:0.5MPa スコープスイング/ステージロック用 N2:0.5MPa　ハードコンタクト用真空:-0.08MPa　マスク/基板吸着用
外形寸法(mm)			750W×600H×650D
重量			90kg
オプション			専用除振台真空ポンプ三眼鏡筒モニター仕様露光光源500W仕様