技術資料/FAQ
お客様から寄せられる、よくあるご質問を掲載しております。
お客様がお知りになりたい事柄がこちらに掲載されていない場合は、お問合せフォームにて随時受け付けております。
お気軽にご質問ください。
お問合せフォームにて受け付けたご質問は随時掲載していく予定です。
- 自動測定の膜厚計に、安全カバーはありますか?
- 膜厚計で基板等の真空吸着ができますか?
- 膜厚計でノッチウエハのマッピング測定ができますか?
- 膜厚計でマッピング測定可能なサンプルサイズは?
- 膜厚計には膜厚測定用テストウエハが付属していますか?
- 膜厚分布のマッピングができますか?
- 段差計で3D形状測定ができますか?
- 段差計には風防カバーがありますか?
- 段差計に必要なユーティリティを知りたい。
- 段差計の装置の外形寸法及び重量を知りたい。
- PCのOSを知りたい
- 段差計には防振台がありますか?
- 段差計の使用可能なサンプルサイズを知りたい。
- 段差計の最大測定長さは。
- 測定結果を別のパソコンで解析できますか?
- 差動トランス(直動式)検出器とは、どの様なものですか?
- 段差計(ET200・ET4000)で、多層膜の膜厚測定は出来ますか?
- 段差計(ET200・ET4000)で、最低 何nmまでの微小段差測定ができますか?
- 段差計(ET200・ET4000)で、最大何μmまで段差測定ができますか?
- 段差計(ET200・ET4000)で、膜厚の測定が出来ますか?
- 段差計(ET200・ET4000)で、タック性(粘着性)のある膜の測定ができますか?
- 段差計(ET200・ET4000)で、湿ったサンプルの測定が出来ますか?
- 段差計(ET200A・ET4000A)で基板のそり・うねり測定はできますか?
- 触針式段差計ですと、触針によりキズがついてしまうことはないのですか?