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技術資料/FAQ

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測定について

段差計(ET200・ET4000)で、最大何μmまで段差測定ができますか?

ET4000Aは、最大測定範囲 100μmです。段差の前後にウエハのソリなどの傾きある場合、測定可能な段差は、その分小さくなります。また、低荷重で測定する場合は、その荷重に応じて最大測定範囲が小さくなります。
ET200は、最大測定範囲は600μmで、段差の前後にウエハのソリなどの傾きある場合、低荷重で測定する場合は、同様に最大測定範囲が小さくなります。