ET4000Aは、最大測定範囲　100μmです。段差の前後にウエハのソリなどの傾きある場合、測定可能な段差は、その分小さくなります。また、低荷重で測定する場合は、その荷重に応じて最大測定範囲が小さくなります。
ET200は、最大測定範囲は600μmで、段差の前後にウエハのソリなどの傾きある場合、低荷重で測定する場合は、同様に最大測定範囲が小さくなります。