オプションの三点支持の試料台が必要となります。
また、三次元表示の為の、ソフトが必要となります。（ET4000A）
ステージの真直度について、ET4000Aは0.1μm/100mm　/　ET200Aは0.2μm/100mm　を保証していますので、精度の高い測定が可能です。