半導体検査・測定装置.com 特徴
半導体検査・測定装置.comでは、スピンコーター、マスクアライナー、現像装置の検査、測定装置でお客様のご要望が多いレジスト膜厚、線幅、段差、表面形状、表面解析のサンプルに合わせた装置のご提案をさせて頂いております。
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膜厚計（光干渉式）
- 非接触光干渉式膜厚測定計は、膜の表面と基板との界面からの反射光の光路差によって生じる干渉光のデータを利用して短時間で膜厚を解析、測定する膜厚測定装置です。
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段差計
- 段差計（段差測定器）・プロファイラー・表面粗さ測定機は、段差及び二次元表面粗さ等を自動的に測定しデータ解析処理を行う多目的、多機能な微細形状測定装置です。
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コンフォーカル
顕微鏡 - コンフォーカル顕微鏡は、白色コンフォーカル及びレーザーコンフォーカルをベースに、高解像度・高コントラストの３D計測・ナノレベル形状計測など多機能な高性能顕微鏡です。
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微小線幅測定装置
- 線幅測定装置は、傾斜部分も含む測定条件を設定する事により、再現性の高い線幅測定が可能となっており、フォトリソ工程におけるレジストなどのパターン線幅寸法チェックに最適な線幅測定装置です。
製品案内
段差計
本測定装置は、段差及び二次元表面粗さ等を自動的に測定しデータ解析処理を行う多目的、多機能な微細形状測定装置です。高い真直度精度を有す移動テーブルと微小測定力の直動式検出器を組み合わせにより高精度な測定と軟質試料面の測定にも対応しています。
