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技術資料/FAQ

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一般的内容

膜厚計でのサンプル測定を依頼することは出来ますか?

随時、受け付けておりますので、こちらから お気軽にお問合わせください。
その際、塗布膜の材質、およその厚み、基板の材質などの概略をお教え願います。
 例. Φ6インチSiウエハ上の1μm位のレジスト膜のマッピング測定