段差計 ET200A、ET200A-D、ET200A-3D
| 型式 | ET200A | ET200A-D | ET200A-3D | |
|---|---|---|---|---|
| 最大サンプルサイズ | 160mmφ×厚さ52mm | |||
| サンプルステージ | ステージサイズ | φ160mm | ||
| 傾斜調整範囲 | ±2°（X・Y軸）手動 | |||
| 検出器 | センサ | 差動トランス（直動式） | ||
| 最大検出範囲 | 600μm | |||
| 測定力 | 10μN～500μN（1mgf～50mgf） | |||
| 分解能 | 0.1nm | |||
| 触針先端 | R2μm 頂角60°ダイヤモンド | |||
| Ｘ軸 | Ｘ軸 | 電動 | ||
| 駆動距離 | 100mm | |||
| 真直度 | 0.2μm/100mm以下 | |||
| 位置決め再現性 | ±5μm（ティーチング位置決め時） | |||
| Ｙ軸 | Ｙ軸 | 手動（マイクロメータ） | 電動 | |
| 駆動距離 | 25mm（±12.5mm） | 25mm（±12.5mm） | ||
| 位置決め分解能 | – | 1μm | ||
| 位置決め再現性 | – | ±5μm（ティーチング位置決め時） | ||
| Ｚ軸 | Ｚ軸 | 電動 | ||
| 上下動範囲 | 54mm | |||
| 自動停止機能 | 有り（サンプルに自動でコンタクトし停止する） | |||
| θ軸 | 手動 粗動360° 微動±５° | |||
| 段差測定の再現性 | 1σ 0.3nm以内（メーカー規格） | |||
| 電源 | 単相AC100～240V 50/60Hz 300VA | |||
| 測定部大きさ | W500×D440×H630mm 約120kg | |||
| 三次元粗さ測定機能 | なし | オプション | 標準装備 | |
- ※仕様は予告なく変更することがございます。
■オプション
| 防振台 テーブル型 | ETV-7A | W815ｘD745ｘH750 約320Kg |
|---|---|---|
| 防振台 卓上型 | ETV-12 | W500ｘD400ｘH80 約10Kg |
| 低測定力タイプ検出器 | 測定力 0.5μN～500μN（0.05mgf～50mgf） 測定レンジ 100μm | |
| PC モニター | Windows10 Pro 64bit 19インチLCD | |
＜段差測定事例＞
- ・金属膜
- 銅（Cu)
ガラス・硝子
アルミ（Al）
シリコン（Si)
チタン（Ti）
金（Au)
クローム（Cr）
銀（Ag)
ITO
- ・有機膜
・高分子ポリマー
・反射防止膜
