設置環境での振動の影響がなく、サンプルの表面粗さが小さければ、20nm程度まで測定実績がありますので、サンプル測定にてご確認ください。
測定分解能は、設定により、0.1nm以下の分解能も可能ですが、サンプル基板及び膜の表面粗さが大きいと、段差と表面粗さが判別できず、測定できない、または、測定精度が低下することがあります。