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技術資料/FAQ

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仕様・スペック

段差計の最大測定長さは。

ET200/ET4000Aは、連続測定長さは、最大100mmとなります。
他に、測定長がφ8インチ対応のET4100、φ12インチウエハ対応のET4300 というモデルがありますので、お問合わせください。