コンフォーカル顕微鏡（共焦点顕微鏡・レーザー顕微鏡）は、従来の光学顕微鏡に比べて高い解像力をもつ顕微鏡です。凹凸のある試料面に対して、視野内全面にピントの合った高解像度画像を得ることができ、また非破壊、非接触の3次元形状計測を可能にしました。 一般的に光学顕微鏡の性能は、使用する光の波長と対物レンズのN.A.（開口数）に大きく影響されます。いくら短い波長の光を使用しても、N.A.を大きくしないと解像力は高くなりません。従って、微細なパターン等の観察にはN.A.の大きい高倍率の対物レンズが必要になります。ところが、このようなレンズを使用して傾斜面や凹凸の大きい試料面を観察すると、視野全体にピントを合わせることが困難になります。これはN.A.が大きい程、焦点深度（XYの解像力を維持できるピントの許容範囲）が浅くなるためで、解像力と焦点深度はトレードオフの関係にあり、両立することができません。 しかしながら、コンフォーカル顕微鏡（共焦点顕微鏡・レーザー顕微鏡）を使用することで、この相反する課題を解決することができます。

光源にレーザーが使用されている場合は、レーザー顕微鏡※1と呼ばれていますが、これもコンフォーカル（共焦点）顕微鏡に含まれます。また、スポットやライン状に絞った光をXYスキャンすることで2次元画像を得ることから、SEMやSPMのような走査型顕微鏡の１つとも言えます。

充実のオプション

＜自動測定ソフト＞

電動ステージとの組合せで、指定したレシピに従い、半導体や結晶基板などのパターンの幅、高さ、粗さを自動測定します。

＜自動全面検査ソフト＞

ウエハやガラスなどの基板上に存在する微小欠陥や異物などを、全自動で全面検査。 欠陥MAPから任意ポイントの欠陥レビュー、欠陥分類（サイズ、白、黒、凹凸）も可能。