ET4000Aの、最大サンプルサイズは210x210mm　厚み50mmです。但し　吸着テーブル等併用の場合は、その分サンプル厚みは減ります。
ET200Aは、最大サンプルサイズはφ160mm　厚み52mmです。但し　吸着テーブル等併用の場合は、その分サンプル厚みは減ります。
ステージに載せる事が可能な大きいサンプルでも、端の部分は測定できないことがあります。