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OFPR-800LB

スピンコーターにおいて使用されている主な塗布材はどのようなものがありますか?

2019年4月18日 木曜日

 

スピンコーター塗布機.com(ミカサ)のスピンコーター(塗布機)において使用されている主な塗布材を紹介致します。

 

<塗布材>●感光材光触媒材料 
  高分子・ポリマー 
  ITO/IGZO 
  SU-8|日本化薬
  UVレジン(紫外線硬化樹脂) 
  ポリイミド 
  顔料 
  フォトレジスト(OFPR)|東京応化
  フォトレジスト(AZ)|メルク・ジャパン(旧 AZマテリアル)
  フォトレジスト(resist) 
  有機顔料 ※グローブボックス内での使用
  有機材料 ※グローブボックス内での使用
  有機半導体材料 ※グローブボックス内での使用
  BM(ブラックマトリクス) 
 ●コーティングコーティング材料 
  ゴム 
  たんぱく質 
  フィルム材料 
  ワックス 
  接着剤 
  熱硬化樹脂 
  反射防止膜 
  保護膜 
  無機 防汚・防曇コーティング材 
 ●その他Na・Mg 
  エタノール混合液 
  カーボン 
  グラフェン 
  その他 樹脂 
  トルエン・キシレン 
  有機EL(OLED)材料 
  リン(P)を含む塗布液 
  添加剤

スピンコーター成膜データ MS-B100 (レジスト:OFPR-800LB)

2017年5月12日 金曜日
スピンコーター成膜データ MS-B100 
膜厚測定装置FILMETRICS製F50
レジストOFPR-800LB(東京応化社製)
基板サイズΦ4インチシリコンウエハ
ターゲット膜厚1μm
膜厚分布±0.8%

 

スピンコーターMS-B100の製品案内はこちら >>

スピンコーターを購入前に成膜(デモ)や使用方法などの確認をさせていただきたいのですが可能ですか?

2014年11月14日 金曜日

全機種用意がございます。来社もしくは貸し出しにてご対応をしております。詳しくはサイト内【ワークテスト】を参照の上、お問い合わせ下さい。ワークテストはこちら。

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