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マスクアライナー（露光装置）　製品案内

マスクアライナー露光装置.comでは、マニュアルタイプのコンタクトマスクアライナー(露光装置)です。
不定形サイズの基板、シリコン・ガラス・化合物・フイルムなど様々な材質に対応可能で、5×5mm～100×100mm及びφ6インチまでの基板に対応した機種を取り揃えております。

●MA-20●MA-10B●MA-60F●M-2LF●M-1S

M-2LF

φ6インチ基板対応モデル
M-2LF

製品仕様

最大基板サイズφ6インチ
最大基板厚2mm
最大マスクサイズ7×7インチ
UVランプハウスインテグレータータイプ
照度＞18mW/c㎡(at405nm)
照度均一性＜±5.0％
露光光源UVランプ250W(オプション500W仕様可)
露光波長ブロードバンド(g・h・i線)
露光用タイマー0～999.9秒　タイマーセット式
UVランプ劣化補正機能取付不可
アライメントスコープ二視野顕微鏡　対物レンズ間隔18～60mm
顕微鏡解像度1.2μm(対物レンズ20×使用時)
アライメントギャップ測長機能取付不可
コンタクト方法ソフトコンタクト(ハードコンタクト/オプション)
マニプレーター移動範囲X・Y±5mm　微動1/8mm1回転
θ:70°　微動±7°
Z:10mm　微動0.16mm
十字動ステージ移動範囲オプション
電源AC100～110V　20A
ユーティリティN2：ハードコンタクト取付時　0.5MPa
真空：マスク及び基板吸着用　-0.08MPa
外形寸法(mm/除振台含む)1000W×1680H×800D
重量280kg
除振台標準装備

※仕様は予告なく変更する事がございます。

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技術資料　／　FAQ

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