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マスクアライナー(露光装置) 製品案内

マスクアライナー露光装置.comでは、マニュアルタイプのコンタクトマスクアライナー(露光装置)です。
不定形サイズの基板、シリコン・ガラス・化合物・フイルムなど様々な材質に対応可能で、5×5mm~100×100mm及びφ6インチまでの基板に対応した機種を取り揃えております。

MA-20 MA-10 MA-60F M-2LF M-1S

マスクアライナー(露光装置)

■マニュアルタイプのコンタクトマスクアライナーです。
■不定形サイズの基板、シリコン・ガラス・化合物・フイルムなど様々な材質に対応可能です。
■ご予算や用途に応じて、コリメータータイプ、マルチミラータイプ、インテグレータータイプの
 3種類の露光光源を用意しております。
■5×5mm~100×100mm及びφ6インチまでの基板に対応した機種を取り揃えております。
■マスクホルダー・試料台の交換は簡単作業のため、研究開発用途に最適です。
■アライメントスコープの対物レンズは高アライメントや膜厚などの用途に応じて
 4×、10×、20×の3種類を用意しております。

マスクアライナー MA-20[φ4インチ基板対応モデル]

最大基板サイズ φ4インチ
露光波長 ブロードバンド(g・h・i線)
露光解像度 1μm(L&S)

マスクアライナー MA-20の詳しい製品仕様はこちら »

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マスクアライナー MA-20
OFPR-800LB
使用機種 MA-20
線幅 1μm(L&S)
レジスト OFPR-800LB
(東京応化製)
膜厚 1μm
e PR-THICK
使用機種 MA-20
線幅 8μm(角ホール)
レジスト e-PR THICK
(e-chem japan製)
膜厚 6.3μm
SU-8
使用機種 MA-20
線幅 7μm(円柱)
レジスト SU-8
(日本化薬製)
膜厚 30μm

マスクアライナー MA-10[φ4インチ基板対応モデル]

最大基板サイズ φ4インチ
露光波長 ブロードバンド(g・h・i線)
露光解像度 2μm(L&S)

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マスクアライナー MA-10
OFPR-800LB
使用機種 MA-10
線幅 2μm(L&S)
レジスト OFPR-800LB
(東京応化製)
膜厚 1μm
e PR-THICK
使用機種 MA-10
線幅 8μm(角ホール)
レジスト e-PR THICK
(e-chem japan製)
膜厚 6.2μm

マスクアライナー MA-60F[φ6インチ基板対応モデル]

最大基板サイズ φ6インチ
露光波長 ブロードバンド(g・h・i線)
露光解像度 2μm(L&S)

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マスクアライナー MA-60F
OFPR-800LB
使用機種 MA-60F
線幅 2μm(L&S)
レジスト OFPR-800LB
(東京応化製)
膜厚 1μm
e PR-THICK
使用機種 MA-60F
線幅 6μm(角ホール)
レジスト e-PR THICK
(e-chem japan製)
膜厚 6.2μm

マスクアライナー M-2LF[φ6インチ基板対応モデル]

最大基板サイズ φ6インチ
露光波長 ブロードバンド(g・h・i線)
露光解像度 2μm(L&S)

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マスクアライナー M-2LF

マスクアライナー M-1S[φ3インチ基板対応モデル]

最大基板サイズ φ3インチ
露光波長 ブロードバンド(g・h・i線)
露光解像度 5μm(L&S)

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マスクアライナー M-1S
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