マスクアライナー（露光装置） 製品案内
マスクアライナー（露光装置）
■マニュアルタイプのコンタクトマスクアライナーです。
■不定形サイズの基板、シリコン・ガラス・化合物・フイルムなど様々な材質に対応可能です。
■ご予算や用途に応じて、コリメータータイプ、マルチミラータイプ、インテグレータータイプの
3種類の露光光源を用意しております。
■5×5mm～100×100mm及びφ6インチまでの基板に対応した機種を取り揃えております。
■マスクホルダー・試料台の交換は簡単作業のため、研究開発用途に最適です。
■アライメントスコープは双眼と三眼の二種類を用意しております。
| 使用機種 | MA-20 |
|---|---|
| 線幅 | 1μm(L＆S) |
| レジスト | OFPR-800LB (東京応化製) |
| 膜厚 | 1μm |
| 使用機種 | MA-20 |
|---|---|
| 線幅 | 8μm(角ホール) |
| レジスト | e-PR THICK (e-chem japan製) |
| 膜厚 | 6.3μm |
| 使用機種 | MA-20 |
|---|---|
| 線幅 | 7μm(円柱) |
| レジスト | SU-8 (日本化薬製) |
| 膜厚 | 30μm |
| 使用機種 | MA-60F |
|---|---|
| 線幅 | 2μm(L＆S) |
| レジスト | OFPR-800LB (東京応化製) |
| 膜厚 | 1μm |
| 使用機種 | MA-60F |
|---|---|
| 線幅 | 6μm(角ホール) |
| レジスト | e-PR THICK (e-chem japan製) |
| 膜厚 | 6.2μm |
