マスクアライナー(露光装置) 製品案内
マスクアライナー(露光装置)
■マニュアルタイプのコンタクトマスクアライナーです。
■不定形サイズの基板、シリコン・ガラス・化合物・フイルムなど様々な材質に対応可能です。
■ご予算や用途に応じて、コリメータータイプ、マルチミラータイプ、インテグレータータイプの
3種類の露光光源を用意しております。
■5×5mm~100×100mm及びφ6インチまでの基板に対応した機種を取り揃えております。
■マスクホルダー・試料台の交換は簡単作業のため、研究開発用途に最適です。
■アライメントスコープは双眼と三眼の二種類を用意しております。
使用機種 | MA-20 |
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線幅 | 7μm(円柱) |
レジスト | SU-8 (日本化薬製) |
膜厚 | 30μm |