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マスクアライナー露光装置.com コンセプト

マスクアライナー露光装置.comは、1960年代に露光装置の開発、製品化したメーカーです。標準機を持ち、さまざまな塗布材に対する露光検証データを保有して、研究者の方の露光におけるプロセスのサポートをさせて頂きます。

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特徴11960年代に開発をスタートし、製品化。

マスクアライナー露光装置.com(ミカサ)では、1960年代に開発をスタートし、マスクアライナーを製品化して参りました。日本国内はもちろん、中国や台湾など海外にも納入しております。

◆歴代のマスクアライナー・露光機

歴代のマスクアライナー・露光機 年代

特徴2さまざまな塗布材に対する露光検証データ保有

(露光)●実証データ(レジストパターン)を多数保有

SEM画像(薄膜)
露光装置 MA-20
線  幅 1μm L&S
レジスト OFPR-800LB
(東京応化製)
膜  厚 1μm
  SEM画像(厚膜)
露光装置 MA-20
線  幅 8μm(角ホール)
レジスト e-PR THICK
(e-chem japan製)
膜  厚 6.3μm
  SU-8
露光装置 MA-20
線  幅 7μm(円柱)
レジスト SU-8
(日本化薬製)
膜  厚 30μm

特徴3ラボにてワークテスト。弊社エンジニアが導入支援

◆ラボルームにて、テストワーク可能。エンジニアが操作及び内容等のサポートも致します。(無料)

 

・既存のお客様、装置検討の方   装置の操作説明
・エンジニアが操作及び内容等のサポートもします。
・秘密保持の為にお客様だけで使用していただくことも可能です。

ラボルーム
 

<貸し出し時間>

期間:半日~1日程度
9時~17時30分    ※その他ご相談ください

◆ワークテストを、弊社エンジニアが代行可能。サンプル、検査報告書等の提出も必要に応じて致します。(無料)

    <対応機種> <成果物>
  ・スピンコーター(塗布機) 全機種 サンプル提示
  ・ベーク・熱処理 ダイレクトホットプレート サンプル提示
  ・露光装置 MA-20、MA-60F サンプル提示
   
  ・現像 AD-1200 サンプル提示
  ・検査・測定 膜厚測定 F50 検査報告書提出
    線幅測定装置 MIM-L  
 

※ワークテスト期間    (ワーク到着後) 1日~1週間
※テスト内容や枚数によって期間が変動します
※内容によってはお受けできない場合もございますので、事前にご相談ください。

特徴4修理・メンテナンスは、エンジニアの出張対応可能

◆国内外のサービスネットワーク
 ・国内2拠点 : 東京:〒105-0011 東京都港区芝公園2丁目8番1号  TEL(03)3433-8216
          大阪:〒533-0033 大阪府大阪市東淀川区東中島1丁目13番35号  TEL(06)6325-5661

 ・海外2拠点 : 中国(上海):牛尾貿易(上海)有限公司 (http://www.ushio.com.cn/)
          台湾(台北):川川企業有限公司 (網址: www.kawakawa.com.tw)

◆修理メンテナンス人員
 ・国内8名
 ・海外4名

 

◆技術 + サービス

エリア
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