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マスクアライナー(露光装置) 製品案内

マスクアライナー露光装置.comでは、マニュアルタイプのコンタクトマスクアライナー(露光装置)です。
不定形サイズの基板、シリコン・ガラス・化合物・フイルムなど様々な材質に対応可能で、5×5mm~100×100mm及びφ6インチまでの基板に対応した機種を取り揃えております。

MA-20 MA-10 MA-60F M-2LF M-1S

MA-10

φ4インチ基板対応モデル
MA-10

製品仕様

最大基板サイズφ4インチ
最大基板厚2mm
最大マスクサイズ5×5インチ
UVランプハウスコリメータータイプ
照度>8mW/c㎡(at405nm)
照度均一性<±8.5%
露光光源UVランプ250W(オプション500W仕様可)
露光波長ブロードバンド(g・h・i線)
露光用タイマー0~999.9秒 タイマーセット式
UVランプ劣化補正機能取付不可
アライメントスコープ二視野顕微鏡 対物レンズ間隔18~60mm
アライメント精度1.2μm(対物レンズ20×使用時)
アライメントギャップ測長機能オプション
コンタクト方法ソフトコンタクト/ハードコンタクト
マニプレーター移動範囲X・Y±5mm 微動1/8㎜1回転
θ:70° 微動±7°
Z:3mm 微動0.16mm
十字動ステージ移動範囲X・Y±20mm
電源AC100~110V 20A
ユーティリティエアー:顕微鏡駆動用 0.5MPa
N2:ブローアップ用 0.5MPa
真空:マスク及び基板吸着用 -0.08MPa
外形寸法(mm)700W×570H×650D
重量150kg
除振台オプション

※仕様は予告なく変更する事がございます。

OFPR-800LB
使用機種 MA-10
線幅 2μm(L&S)
レジスト OFPR-800LB
(東京応化製)
膜厚 1μm
e PR-THICK
使用機種 MA-10
線幅 8μm(角ホール)
レジスト e-PR THICK
(e-chem japan製)
膜厚 6.2μm
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