マスクアライナー(露光装置) 製品案内
M-1S
φ3インチ基板対応モデル製品仕様
最大基板サイズ | φ3インチ |
最大基板厚 | 2mm |
最大マスクサイズ | 4×4インチ |
UVランプハウス | コリメータータイプ |
照度 | >8mW/c㎡(at405nm) |
照度均一性 | <±8.5% |
露光光源 | UVランプ250W |
露光波長 | ブロードバンド(g・h・i線) |
露光用タイマー | 0~999.9秒 タイマーセット式 |
UVランプ劣化補正機能 | 取付不可 |
アライメントスコープ | 双眼実体顕微鏡(ズーム式) |
顕微鏡解像度 | 3.7μm(ズーム比を1×に設定時) |
アライメントギャップ測長機能 | 取付不可 |
コンタクト方法 | ソフトコンタクト(ハードコンタクト/オプション) |
マニプレーター移動範囲 | X・Y±5mm 微動1/8mm1回転 θ:70° 微動±7° Z:3mm 微動0.16mm |
十字動ステージ移動範囲 | 取付不可 |
電源 | AC100~110V 20A |
ユーティリティ | N2:ハードコンタクト取付時 0.5MPa 真空:マスク及び基板吸着用 -0.08MPa |
外形寸法(mm) | 800W×730H×500D |
重量 | 100kg |
除振台 | オプション |
※仕様は予告なく変更する事がございます。