マスクアライナー（露光装置）　製品案内

マスクアライナー露光装置.comでは、マニュアルタイプのコンタクトマスクアライナー(露光装置)です。
不定形サイズの基板、シリコン・ガラス・化合物・フイルムなど様々な材質に対応可能で、5×5mm～100×100mm及びφ6インチまでの基板に対応した機種を取り揃えております。

φ3インチ基板対応モデル

最大基板サイズ	φ3インチ
最大基板厚	2mm
最大マスクサイズ	4×4インチ
UVランプハウス	コリメータータイプ
照度	＞8mW/c㎡(at405nm)
照度均一性	＜±8.5％
露光光源	UVランプ250W
露光波長	ブロードバンド(g・h・i線)
露光用タイマー	0～999.9秒　タイマーセット式
UVランプ劣化補正機能	取付不可
アライメントスコープ	双眼実体顕微鏡(ズーム式)
顕微鏡解像度	3.7μm(ズーム比を1×に設定時)
アライメントギャップ測長機能	取付不可
コンタクト方法	ソフトコンタクト(ハードコンタクト/オプション)
マニプレーター移動範囲	X・Y±5mm　微動1/8mm1回転 θ:70°　微動±7° Z:3mm　微動0.16mm
十字動ステージ移動範囲	取付不可
電源	AC100～110V　20A
ユーティリティ	N2：ハードコンタクト取付時　0.5MPa 真空：マスク及び基板吸着用　-0.08MPa
外形寸法(mm)	800W×730H×500D
重量	100kg
除振台	オプション