製品案内
検査・測定機 － 非接触膜厚測定機・段差計など
フォトリソグラフィ.comでは、スピンコーター（塗布機）からマスクアライナー（露光装置）、現像・エッチングの研究用ラボ機を取り扱っております。
また、測定として、膜厚測定、段差、線幅・形状測定の各種測定機も取り扱っております。
| 非接触膜厚測定機 | 段差計・プロファイラー | コンフォーカル顕微鏡 | ||
| ●OPTM series ●ファイバー式膜厚モニタ | ●ET200A ●ET200A-D ●ET200A-3D ●ET4000A ●ET4000AK | ●OPTELICS HYBRID C3 ●OPTELICS HYBRID L3 ●OPTELICS HYBRID L7 |
微小線幅測定装置
ホトリソ工程におけるレジストパターンを、対物レンズ50x以上の倍率で測定の際、パターン両側に傾斜面がある事が多々あり、正確な線幅測定が難しいことがありました。
微小線幅測定装置では、傾斜部分も含む測定条件を設定する事により、再現性の高い線幅測定が可能となりました。
また、パターン線幅寸法を画像処理により自動的に測定する為、個人誤差を排除した測定精度の向上及び、検査効率をアップできます。
微小線幅測定装置は、ホトリソ工程におけるレジストなどのパターン線幅寸法チェックに最適な測定システムです。
主な特徴
- ・画面内自動寸法測定ソフトとオートフォーカスの組み合せにより、個人誤差のない線幅測定システムです。
- ・測定再現性 3σ=0.01μm（対物100倍、 B/Wカメラ 基準スケールをAF動作にて繰り返し測定）
- ・少ない予算で、自動線幅測定システムを実現。
- ・お手持ちの三眼鏡筒Cマウント付き金属顕微鏡にも、使用できます。
- ・同時に複数本の線幅測定が可能、作業効率が大幅アップ。
- ・カラーカメラも可能
- ・ISO校正書・トレサビリティ体系図付きキャリブレーションプレートが付属
 | 測定用途
|
＜線の種類に応じて、様々なエッジ検出指定が可能＞
＜傾いている線も、検出した線に対して垂直に測定が可能＞
＜線幅測定仕様＞
| 測定再現性 | 3σ=0.01μm （対物レンズ100ｘ時、基準スケールをAF動作にて繰り返し測定） |
|---|---|
| 最小表示 | 0.001μm |
| 線幅エッジ検出 | ネガ・ポジ・インサイド・アウトサイド・ボトム |
| 傾き補正 | 傾いた線の幅も、検出した線に対して垂直に測定が可能 |
| 校正値 | 20種類（対物レンズの倍率に応じて設定） |
| データ出力 | 測定結果のCSVデータ、測定結果画像（BMP/JPG）保存 |
| オートフォーカス | 画像オートフォーカス |
| カメラ | 1/1.8型モノクロ 約200万画素 Cマウント |
| Z軸制御 | 5相ステッピングモーター |
| Z軸分解能 | 0.005μm（組合わせる顕微鏡による） |
＜測定精度＞
| 倍率 | 5x | 10x | 20x | 50x | 100x |
|---|---|---|---|---|---|
| 繰り返し精度3σ（μm） ※ | 0.2 | 0.1 | 0.05 | 0.02 | 0.01 |
※繰り返し精度は、基準スケールをオートフォーカスを使用し、サンプルの入れ替えなく、照明等同じ条件で10回測定時
※長作動距離対物レンズ使用時は、除きます。
＜顕微鏡仕様＞
| 本体 | ニコンLV150N 反射照明専用機 マニュアルレボルバ |
|---|---|
| 鏡筒 | 三眼鏡筒（光路切替え100:0/0:100もしくは20:80） |
| 接眼レンズ | 10x / 視野数25 |
| 対物レンズ | 5x 10x 20x 50x 100x |
| 反射照明装置 | ハロゲン または LED |
| ステージ | 6×6 ステージ、6インチウエハホルダー |
| 観察方法 | 明視野観察（線幅測定用） |
| その他 | カメラ用リレーレンズ |
| 顕微鏡オプション | 暗視野観察・微分干渉観察（線幅測定はできない場合があります。） 電動レボルバ 長作動距離対物レンズ |
| システム構成 | 計測ソフト Win７ 専用PC 1/1.8インチ型 200万画素 B/Wカメラ AFカプラー モニター 顕微鏡 キャリブレーションスケール |
| オプション | ・500万画素B/Wカメラ ・200万画素カラーカメラ ・顕微鏡用防振台 ・8インチウエハまたは12インチウエハ用顕微鏡 |
