スピンコーター（塗布機） 製品案内
スピンコーター塗布機.com（ミカサ）の製品は、ACサーボモータを使用しているためブラシレスであることから、クリーンルームでのコンタミネーションに優れ、モーターの発熱を低減することで連続使用時の温度上昇による膜厚再現性への影響も受け難くなります。
| ＜最大対応サイズ＞ | ＜最大対応サイズ＞ | |||||
| ４インチ ６インチ ８インチ １２インチ | ●MS-B100 ●MS-B150 ●MS-B200 ●MS-B300 | 100×100mm 150×150mm | ●MS-B200（密閉型） ●MS-B300（密閉型） | ●試料台（標準） ●試料台（特注） | ||
MS-B150
φ6インチウエハー・100×100mm基板対応モデル
製品仕様
| 最大基板サイズ | φ6インチウエハー又は100×100mm基板 |
| 回転数(rpm) | 20～7,000 |
| 回転精度 | ±1rpm(負荷時) |
| モーター | ACサーボモーター |
| 蓋 | アクリル |
| スピン室内径 | φ290mm |
| ステップ・パターン数 | 100ステップ×10パターン |
| 時間設定 | 999.9sec |
| セーフティーインターロック | 真空 標準装備 蓋 オプション |
| 滴下装置 | オプション |
| 使用真空圧 | -0.08～-0.1MPa |
| 電源 | AC100～240V 5A |
| 外形寸法(mm) | 352W×303H×432D |
| 重量 | 16kg |
※仕様は予告なく変更する事がございます。
対応オプション
| ＜特注の種類＞ | ＜対応機種＞ | |
|---|---|---|
| ・自動滴下装置（エアー駆動式） | 1アーム | ○ |
| 2アーム | ○ | |
| ・自動滴下装置（スタンド式） | ○ | |
| ・エッジリンス | ○ | |
| ・バックリンス | ○ | |
| ・排気ダクト | ○ | |
| ・廃液ドレイン | ○ | |
| ・フタリミットスイッチ | ○ | |
| ・テフロンコート加工 | ○ | |
| ・モーター廃熱ファンの追加 | ○ | |
| ・非常停止スイッチ | ○ | |
| ・ハイパワーモーター | ||
膜厚分布データ
| 使用機種 | MS-B150 |
| 膜厚測定装置 | FILMETRICS製 F50 |
| レジスト | OFPR-800LB(東京応化社製) |
| 基板サイズ | φ6インチシリコンウエハー |
| ターゲット膜厚 | 1μm |
| 膜厚分布 | ±0.6％ |
技術資料 ／ FAQ
基板
試料台(チャックホルダー)
オプション
修理
- スピンコーターが回転動作しなくなりました。電源はONになりプログラムを入力することも可能です。ただスタートボタンを押しても回転動作が始まらず、時間のカウントも始まりません。そして数秒後、終了の音が鳴ります。
- スピンコーターの電源をONにしても初期動作(１回転)せず、ビービーとエラー音が鳴って動作させることができません。
- 真空ポンプをONにするとスピンコーター本体の電源に関わらず真空が吸った状態になってしまいます。
- スピンコーターの回転などの表示部に【Oerr】とエラーメッセージが表示されます。どのようなエラーでしょうか？
- スピンコーターの回転などの表示部に【Serr】とエラーメッセージが表示されます。どのようなエラーでしょうか？
- スピンコート中に基板が頻繁に飛んでしまうのですが、どうしたら良いでしょうか？
その他
技術資料（各種動画）
技術資料（成膜データ）
