スピンコーター・塗布機 試料台
試料台(標準)
ミカサ・スピンコーター.comでは、用途に応じた試料台の標準品を取り揃えております。
対応機種:MS-B100
●対応基板サイズ | ●試料台材質 | ●用途 例 | |
---|---|---|---|
5mm | アルミ | シリコン、ガラスなど | ![]() |
10mm | アルミ | シリコン、ガラスなど | ![]() |
10mm | テフロン | シリコン、ガラスなど | ![]() |
20mm | アルミ | シリコン、ガラスなど | ![]() |
20mm | テフロン | シリコン、ガラスなど | ![]() |
30mm | アルミ | シリコン、ガラスなど | ![]() |
50mm | アルミ | シリコン、ガラスなど | ![]() |
50mm | テフロン | シリコン、ガラスなど | ![]() |
75mm(外周φ76mm) | アルミ | シリコン、ガラスなど | ![]() |
75mm(外周φ76mm) | テフロン | シリコン、ガラスなど | ![]() |
100mm | アルミ | シリコン など | ![]() |
100mm | デルリン | シリコン など | ![]() |
100mm | テフロン | シリコン など | ![]() |
対応機種:MS-B150
●対応基板サイズ | ●試料台材質 | ●用途 例 | |
---|---|---|---|
10mm | アルミ | シリコン、ガラスなど | ![]() |
10mm | テフロン | シリコン、ガラスなど | ![]() |
20mm | アルミ | シリコン、ガラスなど | ![]() |
20mm | テフロン | シリコン、ガラスなど | ![]() |
50mm | アルミ | シリコン、ガラスなど | ![]() |
50mm | デルリン | シリコン、ガラス、化合物など | ![]() |
75mm(外周φ76mm) | テフロン | シリコン、ガラスなど | ![]() |
100mm | アルミ | シリコン、ガラスなど | ![]() |
100mm | デルリン | シリコン、ガラス、化合物など | ![]() |
100mm | テフロン | シリコン、ガラスなど | ![]() |
100mm | テフロン | シリコン、ガラス、化合物など | ![]() |
150mm | アルミ | シリコン、ガラスなど | ![]() |
150mm | デルリン | シリコンなど | ![]() |
150mm | テフロン | シリコン、ガラスなど | ![]() |
対応機種:MS-B200
●対応基板サイズ | ●試料台材質 | ●用途 例 | |
---|---|---|---|
100mm | アルミ | シリコン、ガラスなど | ![]() |
100mm | テフロン | シリコン、ガラスなど | ![]() |
150mm | アルミ | シリコン、ガラスなど | ![]() |
150mm | テフロン | シリコン、ガラスなど | ![]() |
200mm | テフロン | シリコン、ガラスなど | ![]() |
基板サイズ・膜厚など、用途に合わせて試料台を作製しておりますので、お気軽にご相談下さい。
※仕様は予告なく変更する事がございます。
FAQ
試料台(チャックホルダー)
- 標準的な試料台(チャックホルダー)などはありますか?納期はどれくらいですか?
- スピンコーターで使用可能な角(□)や丸(Φ)以外の形状の基板に対応できる試料台(チャックホルダー)には、どのような種類がありますか?
- スピンコーター用試料台(チャックホルダー)で、基板の固定方法にはどのような方式がありますか。
- スピンコーター用試料台(チャックホルダー)の材質にはどのような種類がありますか?
- スピンコーター用試料台(チャックホルダー)は全ての機種で互換性がありますか。
- 試料台(チャックホルダー)の材質の違いによるメリットとデメリットは何ですか?
- スピンコーター用試料台(チャックホルダー)の材質の選び方