スピンコーター・塗布機 試料台
試料台(特注)
使用目的に合わせて、試料台の特注製作を致します。(特注試料台製作工期は、図面承認後 約1.5ヶ月間になります。) 特注試料台として、サイズ、材質、吸着形状など用途に応じて特注対応致します。
(材質) | アルミ、デルリン、テフロン etc | |
(サイズ) | 極小(5mm) ~ | |
(吸着形状) | 溝、小穴 |
<特注試料台 例> | フィルム用試料台、レンズ用試料台、ディスク用試料台、 スライドガラス用試料台、厚み(2mm以上)のある基板用 研磨シリコン用(0.1mm以下) |
溝吸着タイプ
小穴吸着タイプ
フィルム用
スライドガラス用
ディスク用
FAQ
試料台(チャックホルダー)
- 標準的な試料台(チャックホルダー)などはありますか?納期はどれくらいですか?
- スピンコーターで使用可能な角(□)や丸(Φ)以外の形状の基板に対応できる試料台(チャックホルダー)には、どのような種類がありますか?
- スピンコーター用試料台(チャックホルダー)で、基板の固定方法にはどのような方式がありますか。
- スピンコーター用試料台(チャックホルダー)の材質にはどのような種類がありますか?
- スピンコーター用試料台(チャックホルダー)は全ての機種で互換性がありますか。
- 試料台(チャックホルダー)の材質の違いによるメリットとデメリットは何ですか?
- スピンコーター用試料台(チャックホルダー)の材質の選び方