製品案内
スピンコーター（塗布機）
フォトリソグラフィ.comでは、スピンコーター（塗布機）からマスクアライナー（露光装置）、現像・エッチングの研究用ラボ機を取り扱っております。
また、測定として、膜厚測定、段差、線幅・形状測定の各種測定機も取り扱っております。
| ＜最大対応サイズ＞ | ＜最大対応サイズ＞ | |||||
| ４インチ ６インチ ８インチ １２インチ | ●MS-B100 ●MS-B150 ●MS-B200 ●MS-B300 | 100×100mm 150×150mm | ●MS-B200（密閉型） ●MS-B300（密閉型） | ●試料台（標準） ●試料台（特注） | ||
MS-B200
φ8インチウエハー・150×150mm基板対応モデル
製品仕様
| 最大基板サイズ | φ8インチウエハー又は150×150mm基板 |
| 回転数(rpm) | 20～5,000 |
| 回転精度 | ±1rpm(負荷時) |
| モーター | ACサーボモーター |
| 蓋 | ポリカーボネート |
| スピン室内径 | φ360mm |
| ステップ・パターン数 | 100ステップ×10パターン |
| 時間設定 | 999.9sec |
| セーフティーインターロック | 真空 標準装備 蓋 標準装備 |
| 滴下装置 | オプション |
| 使用真空圧 | -0.08～-0.1MPa |
| 電源 | AC100～240V 5A |
| 外形寸法(mm) | 500W×335H×583D |
| 重量 | 28kg |
※仕様は予告なく変更する事がございます。
膜厚分布データ
技術資料（各種動画）
スピンコーター成膜処理動画
スピンコーター用レジスト滴下装置 滴下動画
スピンコーター用滴下・エッジ・バックリンス動画
スピンコーターエッジ・バックリンス動画
技術資料 ／ FAQ
基板
試料台(チャックホルダー)
オプション
修理
- スピンコーターが回転動作しなくなりました。電源はONになりプログラムを入力することも可能です。ただスタートボタンを押しても回転動作が始まらず、時間のカウントも始まりません。そして数秒後、終了の音が鳴ります。
- スピンコーターの電源をONにしても初期動作(１回転)せず、ビービーとエラー音が鳴って動作させることができません。
- 真空ポンプをONにするとスピンコーター本体の電源に関わらず真空が吸った状態になってしまいます。
- スピンコーターの回転などの表示部に【Oerr】とエラーメッセージが表示されます。どのようなエラーでしょうか？
- スピンコーターの回転などの表示部に【Serr】とエラーメッセージが表示されます。どのようなエラーでしょうか？
- スピンコート中に基板が頻繁に飛んでしまうのですが、どうしたら良いでしょうか？
その他
技術資料（成膜データ）
