フォトリソLab
フォトリソグラフィ.comの「フォトリソLab」では、スピンコート（塗布）、露光などの各種検証データを保有しております。またイエロールームにてワークテストなどを行い、お客様の実験のサポートに力を入れております。
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フォトリソグラフィ.comの「フォトリソLab」では、さまざまな塗布材の検証データを保有し、実験のサポートが出来る体制とノウハウがございます。 |
（塗布）●さまざまな塗布材に対する検証データ（膜厚分布）を保有
●各種レシピを保有している
・～100μmまでの厚膜を成膜可能
・膜厚均一性 など
＜膜厚分布データ＞
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＜膜厚分布データ＞
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（露光）●実証データ（レジストパターン）を多数保有
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フォトリソグラフィ.comの「フォトリソLab」では、ラボルームにてワークテストやLabルームの場所の提供が可能です。 |
◆ラボルームにて、テストワーク可能。エンジニアが操作及び内容等のサポートも致します。（無料）
・既存のお客様、装置検討の方 装置の操作説明 |
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＜貸し出し時間＞ |
期間：半日～1日程度 |
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◆ワークテストを、弊社エンジニアが代行可能。サンプル、検査報告書等の提出も必要に応じて致します。（無料）
| ＜対応機種＞ | ＜成果物＞ | |||
・スピンコーター（塗布機） |
全機種 | サンプル提示 | ||
| ・ベーク・熱処理 | ダイレクトホットプレート | サンプル提示 | ||
| ・露光装置 | MA-20、MA-60F | サンプル提示 | ||
| ・現像 | AD-1200 | サンプル提示 | ||
| ・検査・測定 | 膜厚測定 | 検査報告書提出 | ||
| 線幅測定装置 | MIM-L | |||
※ワークテスト期間 （ワーク到着後） １日～1週間 |
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◆スピンコーター（塗布機）全機種のテスト機を保有しております。 約1週間の貸出が可能です。
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●MS-A100 ●MS-A150 ●MS-A200 ●MS-A300 ●MS-A200（密閉型） ●MS-A300（密閉型） |
＜最大対応サイズ＞ ４インチ ６インチ ８インチ １２インチ 100×100mm 150×150mm |
貸し出し機種 |
： スピンコーター全機種 ： 目安1週間 ： 購入検討 |
FAQ
