コンセプト

1960年代から各種ラボ機開発。納入累積7000台以上の実績を誇るトップメーカー

◆納入実績	フォトリソグラフィ.com（ミカサ）では、ラボ用スピンコーター（塗布機）、マスクアライナー（露光機）のトップメーカーとして、納入実績7000台以上あります。
◆海外納入実績	中国、台湾、韓国、シンガポール、マレーシア、インド、タイ、アメリカ、オーストラリア

◆歴代のスピンコーター（塗布機）

◆歴代のマスクアライナー・露光機

フォトリソ工程の塗布～露光～現像・エッチング、検査まで、ラボ用半導体製造装置をワンストップで提供

レジスト塗布、露光、現像、エッチングなど、半導体製造の前工程に必要な装置をすべて取り揃え、ワンストップで提供しています。また、スピンコーターは全機種代替機をご用意し、故障時にもすばやく対応するなど、販売後のアフターサポートも万全。更に研究の際に発生する様々な問題に対しても、現場に伺いアドバイスを行っております。どの工程に問題があるのか、どう改善していけばよいのかを、お客様と一緒に考え、解決のヒントを導きだしていきます。単に、装置の販売する会社ではなく、半導体のことを相談できるコンサルタントとして、半導体製造プロセス全体をサポートしていきます。

さまざまな塗布材の検証データを保有し、実験のサポートが出来る

（塗布）●さまざまな塗布材に対する検証データ（膜厚分布）を保有

　　　　●各種レシピを保有している
　　　　　・～100μmまでの厚膜を成膜可能
　　　　　・膜厚均一性　　　　　など

＜膜厚分布データ＞ 成膜装置 MS-B200 レジスト OFPR-800LB（東京応化社製） 基板サイズ φ8インチシリコンウエハー ターゲット膜厚 1μm 膜厚分布 ±0.5％

＜膜厚分布データ＞ 成膜装置 MS-B200密閉型 レジスト OFPR-800LB 基板サイズ 65×65mm 膜厚分布 ±0.7％

（露光）●実証データ（レジストパターン）を多数保有

露光装置 MA-20 線　　幅 1μm　L＆S レジスト OFPR-800LB (東京応化製) 膜　　厚 1μm

露光装置 MA-20 線　　幅 8μm(角ホール) レジスト e-PR THICK (e-chem japan製) 膜　　厚 6.3μm

露光装置 MA-20 線　　幅 7μm(円柱) レジスト SU-8 (日本化薬製) 膜　　厚 30μm

ラボにてワークテスト及びテスト機貸出で導入支援

◆スピンコーター（塗布機）全機種のテスト機を保有しております。　約1週間の貸出が可能です。

●MS-A100 ●MS-A150 ●MS-A200 ●MS-A300 ●MS-A200（密閉型） ●MS-A300（密閉型）

＜最大対応サイズ＞ ４インチ ６インチ ８インチ １２インチ 100×100mm 150×150mm

貸し出し機種 貸出期間 貸出条件

：　スピンコーター全機種 ：　目安1週間 ：　購入検討

◆ラボルームにて、テストワーク可能。エンジニアが操作及び内容等のサポートも致します。（無料）

	・既存のお客様、装置検討の方　　　装置の操作説明 ・エンジニアが操作及び内容等のサポートもします。 ・秘密保持の為にお客様だけで使用していただくことも可能です。
	＜貸し出し時間＞	期間：半日～1日程度 9時～17時30分　　　　※その他ご相談ください

◆ワークテストを、弊社エンジニアが代行可能。サンプル、検査報告書等の提出も必要に応じて致します。（無料）

			＜対応機種＞	＜成果物＞
	・スピンコーター（塗布機）		全機種	サンプル提示
	・ベーク・熱処理		ダイレクトホットプレート	サンプル提示
	・露光装置		MA-20、MA-60F	サンプル提示
	・現像		AD-1200	サンプル提示
	・検査・測定	膜厚測定		検査報告書提出
		線幅測定装置	MIM-L

※ワークテスト期間　　　　（ワーク到着後）　１日～1週間 ※テスト内容や枚数によって期間が変動します ※内容によってはお受けできない場合もございますので、事前にご相談ください。

充実した修理・メンテナンス体制で、国内外をサポート。

◆国内外のサービスネットワーク 　・国内２拠点　：　東京　〒105-0011　東京都港区芝公園2丁目8番1号　　TEL：（03）3433-8216 　　　　　　　　　　大阪　〒533-0033　大阪府大阪市東淀川区東中島1丁目13番55号　　TEL：（06）6325-5661 　・海外２拠点　：　中国（上海）：牛尾貿易(上海)有限公司　(http://www.ushio.com.cn/) 　　　　　　　　　　台湾（台北）：川川企業有限公司　(網址: www.kawakawa.com.tw)
◆修理メンテナンス人員 　・国内8名 　・海外4名   ◆技術　＋　サービス（代替機）