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修理・サポート

フォトリソグラフィ.com（ミカサ）では、修理メンテナンスの体制が国内外にネットワークがあり、技術サポートの充実を図っております。

メンテナンス体制とエリア

◆国内外のサービスネットワーク
　・国内２拠点　：　東京　〒105-0011　東京都港区芝公園2丁目8番1号　　TEL：（03）3433-8216
　　　　　　　　　　大阪　〒533-0033　大阪府大阪市東淀川区東中島1丁目13番35号　　TEL：（06）6325-5661
　・海外２拠点　：　中国（上海）：牛尾貿易(上海)有限公司　(http://www.ushio.com.cn/)
　　　　　　　　　　台湾（台北）：優志旺股有限公司 (https://www.ushio.com.tw/company.html)

◆修理メンテナンス人員
　・国内8名
　・海外4名

◆技術　＋　サービス（代替機）

◆スピンコーター（塗布機）に関しては、全機種代替機がございますので、修理中の実験・研究にも支障が出ません。

貸し出し機種
貸出期間
貸出条件

：　スピンコーター全機種
：　目安1週間
：　修理の場合

サポート

スピンコーター

◆スピンコーターサポート終了機種一覧

MS-A100(製造№0701AA110001～1306AH110900)	3H-D2
MS-A150(製造№0701AA115001～1305BH115470)	1H-D2
MS-A200(製造№0701AA120001～1306AH120160)	1H-360
1H-D7	1H-300
1H-DX2	1H-700
1H-360S	1H-DS2
1H-700C	1H-DS
1H-DXⅡ	1H-5
1H-700B	8H-DS
1H-DX	3H-DS
1H-700A	3H-2
3H-D3	5H-3
1H-D3	5H-2

マスクアライナー

◆マスクアライナーサポート終了機種一覧

MA-10(製造年1998年以前)	MA-8C	SMAS(V-14)
MA-20(製造年1998年以前)	M-400	6C
MA-60F(製造年1998年以前)	M-2L
M-2LF(製造年2003年以前)	BS-5
M-1S(製造年2003年以前)	M-200S
M-3LDF	M-3LD
M-7	BS-120
MTV-350	BS-65
BS-7	CMA-1
MA-8P	MA-V

FAQ

修理

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