製品案内

フォトリソグラフィ.comでは、スピンコーター（塗布機）からマスクアライナー（露光装置）、現像・エッチングの研究用ラボ機を取り扱っております。
また、測定として、膜厚測定、段差、線幅・形状測定の各種測定機も取り扱っております。

	＜最大対応サイズ＞
	４インチ ６インチ ８インチ １２インチ 100×100mm 150×150mm	●MS-B100 ●MS-B150 ●MS-B200 ●MS-B300 ●MS-B200（密閉型） ●MS-B300（密閉型）
		●試料台（標準） ●試料台（特注）

●MA-20 ●MA-10B ●MA-60F ●M-2LF ●M-1S

●AD-1200 ●AD-3000

●ED-1200 ●ED-3000

●OPTM series

●ファイバー式膜厚モニタ

●ET4000A ●ET4000AK ●ET200A ●ET200A-D ●ET200A-3D

●OPTELICS HYBRID C3 ●OPTELICS HYBRID L3 ●OPTELICS HYBRID L7