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製品案内

検査・測定機 - 非接触膜厚測定機・段差計など

フォトリソグラフィ.comでは、スピンコーター(塗布機)からマスクアライナー(露光装置)、現像・エッチングの研究用ラボ機を取り扱っております。
また、測定として、膜厚測定、段差、線幅・形状測定の各種測定機も取り扱っております。

非接触膜厚測定機 段差計・プロファイラー コンフォーカル顕微鏡
OPTM series
ファイバー式膜厚モニタ
ET200A
ET200A-D
ET200A-3D
ET4000A
ET4000AK
OPTELICS HYBRID C3
OPTELICS HYBRID L3
OPTELICS HYBRID L7

段差計 ET200A、ET200A-D、ET200A-3D

ET200ET200
型式ET200AET200A-DET200A-3D
最大サンプルサイズ160mmφ×厚さ52mm
サンプルステージステージサイズφ160mm
傾斜調整範囲±2°(X・Y軸)手動
検出器センサ差動トランス(直動式)
最大検出範囲600μm
測定力10μN~500μN(1mgf~50mgf)
分解能0.1nm
触針先端R2μm 頂角60°ダイヤモンド
X軸X軸電動
駆動距離100mm
真直度0.2μm/100mm以下
位置決め再現性±5μm(ティーチング位置決め時)
Y軸Y軸手動(マイクロメータ)電動
駆動距離25mm(±12.5mm)25mm(±12.5mm)
位置決め分解能1μm
位置決め再現性±5μm(ティーチング位置決め時)
Z軸Z軸 電動
上下動範囲54mm
自動停止機能有り(サンプルに自動でコンタクトし停止する)
θ軸 手動 粗動360° 微動±5°
段差測定の再現性1σ 0.3nm以内(メーカー規格)
電源AC100~240V 50/60Hz 200VA
測定部大きさW500×D460×H610mm 約120kg
三次元粗さ測定機能なしオプション標準装備

※仕様は予告なく変更することがございます。

■オプション

防振台 テーブル型ETV-7AW815xD745xH750 約320Kg
防振台 卓上型ETV-12W500xD400xH80 約10Kg
低測定力タイプ検出器測定力 0.5μN~500μN(0.05mgf~50mgf)  測定レンジ 100μm
PC モニターWindows10 Pro 64bit  19インチLCD
<段差測定事例>
・金属膜銅(Cu)
ガラス・硝子
アルミ(Al)
シリコン(Si)
チタン(Ti)
金(Au)
クローム(Cr)
ITO
銀(Ag)
・有機膜
・高分子ポリマー
・反射防止膜

 

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