製品案内
検査・測定機 - 非接触膜厚測定機・段差計など
フォトリソグラフィ.comでは、スピンコーター(塗布機)からマスクアライナー(露光装置)、現像・エッチングの研究用ラボ機を取り扱っております。
また、測定として、膜厚測定、段差、線幅・形状測定の各種測定機も取り扱っております。
非接触膜厚測定機 | 段差計・プロファイラー | コンフォーカル顕微鏡 | ||
●OPTM series ●ファイバー式膜厚モニタ | ●ET200A ●ET200A-D ●ET200A-3D ●ET4000A ●ET4000AK | ●OPTELICS HYBRID C3 ●OPTELICS HYBRID L3 ●OPTELICS HYBRID L7 |
段差計 ET200A、ET200A-D、ET200A-3D
型式 | ET200A | ET200A-D | ET200A-3D | |
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最大サンプルサイズ | 160mmφ×厚さ52mm | |||
サンプルステージ | ステージサイズ | φ160mm | ||
傾斜調整範囲 | ±2°(X・Y軸)手動 | |||
検出器 | センサ | 差動トランス(直動式) | ||
最大検出範囲 | 600μm | |||
測定力 | 10μN~500μN(1mgf~50mgf) | |||
分解能 | 0.1nm | |||
触針先端 | R2μm 頂角60°ダイヤモンド | |||
X軸 | X軸 | 電動 | ||
駆動距離 | 100mm | |||
真直度 | 0.2μm/100mm以下 | |||
位置決め再現性 | ±5μm(ティーチング位置決め時) | |||
Y軸 | Y軸 | 手動(マイクロメータ) | 電動 | |
駆動距離 | 25mm(±12.5mm) | 25mm(±12.5mm) | ||
位置決め分解能 | – | 1μm | ||
位置決め再現性 | – | ±5μm(ティーチング位置決め時) | ||
Z軸 | Z軸 | 電動 | ||
上下動範囲 | 54mm | |||
自動停止機能 | 有り(サンプルに自動でコンタクトし停止する) | |||
θ軸 | 手動 粗動360° 微動±5° | |||
段差測定の再現性 | 1σ 0.3nm以内(メーカー規格) | |||
電源 | AC100~240V 50/60Hz 200VA | |||
測定部大きさ | W500×D460×H610mm 約120kg | |||
三次元粗さ測定機能 | なし | オプション | 標準装備 |
※仕様は予告なく変更することがございます。
■オプション
防振台 テーブル型 | ETV-7A | W815xD745xH750 約320Kg |
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防振台 卓上型 | ETV-12 | W500xD400xH80 約10Kg |
低測定力タイプ検出器 | 測定力 0.5μN~500μN(0.05mgf~50mgf) 測定レンジ 100μm | |
PC モニター | Windows10 Pro 64bit 19インチLCD |
<段差測定事例> | ||
・金属膜 | 銅(Cu) ガラス・硝子 アルミ(Al) シリコン(Si) チタン(Ti) 金(Au) クローム(Cr) ITO 銀(Ag) | |
・有機膜 | ||
・高分子ポリマー | ||
・反射防止膜 |