製品案内
マスクアライナー(露光装置)
フォトリソグラフィ.comでは、スピンコーター(塗布機)からマスクアライナー(露光装置)、現像・エッチングの研究用ラボ機を取り扱っております。
また、測定として、膜厚測定、段差、線幅・形状測定の各種測定機も取り扱っております。
●MA-20 | ●MA-10B | ●MA-60F | ●M-2LF | ●M-1S |
MA-60F
φ6インチ基板対応モデル製品仕様
最大基板サイズ | φ6インチ | |||||
最大基板厚 | 2mm | |||||
最大マスクサイズ | 7×7インチ | |||||
UVランプハウス | インテグレータータイプ | |||||
照度 | >18mW/c㎡(at405nm) | |||||
照度均一性 | <±5.0% | |||||
露光光源 | UVランプ250W(オプション500W仕様可) | |||||
露光波長 | ブロードバンド(g・h・i線) | |||||
露光用タイマー | 切り換え方式 0~999.9秒 タイマーセット式 1~9999カウント 積算光量カウンター式 | |||||
UVランプ劣化補正機能 | 標準装備 | |||||
アライメントスコープ | 二視野顕微鏡 対物レンズ間隔18~60mm | |||||
顕微鏡解像度 | 1.2μm(対物レンズ20×使用時) | |||||
アライメントギャップ測長機能 | 標準装備 | |||||
コンタクト方法 | ソフトコンタクト/ハードコンタクト | |||||
マニプレーター移動範囲 | X・Y±5mm 微動1/8mm1回転 θ:70° 微動±7° X・Y±20mm | |||||
十字動ステージ移動範囲 | Z:4mm(空圧駆動分1mm/粗動3mm) 微動0.16mm | |||||
電源 | AC100~110V 20A | |||||
ユーティリティ | エアー:マスクステージ用 0.5MPa N2:ブローアップ用 0.5MPa 真空:マスク及び基板吸着用 -0.08MPa | |||||
外形寸法(mm/除振台含む) | 1130W×1650H×800D | |||||
重量 | 360kg | |||||
除振台 | 標準装備 |
※仕様は予告なく変更する事がございます。