対応できません。
マスクアライナー
御社のマスクアライナーで両面アライメントはできますか?
2014年11月14日 金曜日どの様な方式の露光装置(マスクアライナー)ですか？
2014年11月14日 金曜日コンタクト露光を採用しています。試料とマスクを密着させ１対１の露光方式です。
御社のマスクアライナーの主な波長は？
2014年11月14日 金曜日主にブロードバンドの436nm(g線)、405nm(h線)、365nm(i線)です。
御社のマスクアライナーの露光焼付け精度は？
2014年11月14日 金曜日
機種により異なりますが、膜厚１μｍでL&S１μｍ可能な機種もございます。厚膜の焼付けデータもございますので、別途お問合せ下さい。
御社のマスクアライナーはプロキシミティ露光は可能ですか？
2014年11月14日 金曜日
ギャップ試料台を用いれば対応可能です。但し、ギャップ値につきましては制限がございますので、詳細は別途ご相談下さい。
キャップ試料台
【特徴】
■プロキシミティ露光が可能です
■ピンによって物理的にギャップ設定を行います
※ギャップ範囲高さ10μm～200μmで製作可能です
※10μm間隔で設定できます
※ピンの精度は±5μm
（30μm以下のギャップの場合、基板厚み公差によってはMaskに接触してしまう可能性があります）
■Maskにコンタクトさせたくない露光に最適です
※SU-8での各種実験SEM画像用意しております
■既にお持ちの装置にオプションとして導入いただけます
マスクアライナーのUVランプの寿命はどのくらいですか？
2014年11月14日 金曜日UVランプの寿命はUSH-250Dで約1000時間、USH-500Dは約800時間となります。
御社のマスクアライナーで光量（mj）を入力しシャッターを制御する事は出来ますか？
2014年11月14日 金曜日出来ません。
マスクアライナーにフィルターを取付けることはできますか？
2014年11月14日 金曜日MA-20、MA-60F、M-2LFであれば、フィルターを取付けることが可能です。
御社のマスクアライナーで両面露光はできますか？
2014年11月14日 金曜日対応できません。
マスクアライナーのアライメント精度はどのくらいですか？
2014年11月14日 金曜日
マニュアルのアライメントのため保証値ではございませんが、弊社のマスクアライナーのアライメント精度は、1.2μｍになります。顕微鏡対物レンズ20倍の分解が1.2μmで解像出来、マイクロの送りが１μｍで合わせる事が出来ます。
