技術資料 / FAQ
技術資料(SEM画像)
マスクアライナーSEM画像 MA-20

【薄膜L&S】![]() | 【厚膜角ホール】![]() | 【厚膜円柱】![]() | |||||||||||||||||||||||||||||
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【SU-8 膜厚20um 時の各ギャップでのLine & Spaceの解像限界(倍率:X2,000)】
ギャップを、0 (=コンタクト), 10, 20, 30, 50, 100umに設定した時のSU-8(膜厚:20μm)の解像性能になります。各Line & Spaceで、どのギャップ値まで解像されるかをまとめると、次のようになります。
<Line & Space> | <解像限界となるギャップ値> |
25um | 100um以内 |
10um | 50um以内 |
8um | 50um以内 |
7um | 30um以内 |
6um | 20um以内 |
3um、5um | コンタクトでも解像されず |