技術資料 / FAQ

技術資料(SEM画像)

マスクアライナーSEM画像 MA-20

【薄膜L&S】薄膜L&S   【厚膜角ホール】厚膜角ホール   【厚膜円柱】厚膜円柱
線幅 1μm(L&S)
レジスト OFPR-800LB
(東京応化製)
膜厚 1μm
 
線幅 8μm(角ホール)
レジスト e-PR THICK
(e-chem japan製)
膜厚 6.3μm
 
線幅 7μm(円柱)
レジスト SU-8
(日本化薬製)
膜厚 30μm

【SU-8 膜厚20um 時の各ギャップでのLine & Spaceの解像限界(倍率:X2,000)】

SU-8 膜厚20um 時の各ギャップでのLine & Spaceの解像限界(倍率:X2,000)

ギャップを、0 (=コンタクト), 10, 20, 30, 50, 100umに設定した時のSU-8(膜厚:20μm)の解像性能になります。各Line & Spaceで、どのギャップ値まで解像されるかをまとめると、次のようになります。

<Line & Space> <解像限界となるギャップ値>
 25um  100um以内
 10um  50um以内
 8um  50um以内
 7um  30um以内
 6um  20um以内
 3um、5um  コンタクトでも解像されず
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