技術資料 / FAQ

技術資料(SEM画像)

マスクアライナーMA-20 露光 解像性・分布評価画像

【目的】
マスクアライナーMA-20 の解像性チェックをOFPR800(膜厚1μm)を使い行う。
また、ウエハー内の分布も観察する。

<主な装置、材料>
  スピンコーター:MS-A150
  露光機:MA-20
  マスク:テストマスク
  フォトレジスト:OFPR-800
  現像機:AD-1200
  現像液:NMD-3 (2.38%TMAH)

【評価結果】

1.Photo 1, 2 にライン(残し、抜き)の3um, 2um, 1um の様子を示します。
  1umまで解像されており、場所による差もほとんど観察されません。
  尚、若干、ラインががたがたしているところが見受けられますが、
  マスクの汚れと思われます。また、1umのドット等で崩れかかったりしているところが
  ありますが、マスクそのものが1umの形状がいびつなところが多々ありばらつきが
  ありますので、露光機、レンズ、レジストの影響とは言いかねます。

2.Photo 3-6 に3, 2, 1um のL&S、Dot、Holeの様子を示します。
  1umまで解像されており、場所による差もほとんど観察されません。

3.Photo 7-9は、その他の場所の抜粋のSEMです。

SEMの観察ポジション
SEMの観察ポジション

SEM
SEM
SEM
SEM
SEM
SEM
その他SEM抜粋
その他SEM抜粋
その他SEM抜粋

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