スピンコーター | スピンコーター・マスクアライナーのフォトリソグラフィ.com
スピンコーター塗布機.com（ミカサ）のスピンコーター（塗布機）において使用されている主な塗布材を紹介致します。
| ＜塗布材＞ | ●感光材 | 光触媒材料 | |
| 高分子・ポリマー | |||
| ITO/IGZO | |||
| SU-8 | ｜日本化薬 | ||
| UVレジン（紫外線硬化樹脂） | |||
| ポリイミド | |||
| 顔料 | |||
| フォトレジスト（OFPR） | ｜東京応化 | ||
| フォトレジスト（AZ） | ｜メルク・ジャパン（旧 AZマテリアル） | ||
| フォトレジスト（resist） | |||
| 有機顔料 ※グローブボックス内での使用 | |||
| 有機材料 ※グローブボックス内での使用 | |||
| 有機半導体材料 ※グローブボックス内での使用 | |||
| BM（ブラックマトリクス） | |||
| ●コーティング | コーティング材料 | ||
| ゴム | |||
| たんぱく質 | |||
| フィルム材料 | |||
| ワックス | |||
| 接着剤 | |||
| 熱硬化樹脂 | |||
| 反射防止膜 | |||
| 保護膜 | |||
| 無機 防汚・防曇コーテｨング材 | |||
| ●その他 | Na・Mg | ||
| エタノール混合液 | |||
| カーボン | |||
| グラフェン | |||
| その他 樹脂 | |||
| トルエン・キシレン | |||
| 有機EL（OLED）材料 | |||
| リン（P）を含む塗布液 | |||
| 添加剤 | |||
ダウンロードが可能でございます。
取扱説明書ダウンロード可能機種:1H-D7／1H-DX2／1H-360S／MS-A100／MS-A150／MS-A200
ダウンロード希望の方はこちら。
オプションとして回転動作中に蓋を開けると動作停止するカバーインターロックと回転動作中は蓋を開ける事が出来なくなるセーフティインターロックがございます。
バキュームインターロックが、全機種標準装備されております。蓋の安全機構については、MS-B100、MS-B150についてはオプションとなり、MS-B200/密閉型、MS-B300/密閉型は標準装備となっております。オプション/特注仕様はこちら。
こちらをご参照ください。オプション/特注仕様はこちら。
試料台を基板の大きさと同じになるように製作するので、外形を合わせていただければ大よそのセンタリングが可能です
MS-A100以外の機種はオプションでセンタリング治具（突き当て）を用意しております。
弊社のスピンコーターは腐食性の無いレジスト等を使用目的として主に金属を使用した造りとなっております。
酸性塗布材料につきましては、基本対応をしておりませんが、詳しくはお問合せ下さい。
【密閉型・オープン型角基板成膜分布比較画像】
| ＜密閉型＞ | ||||||||||||||
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| ＜オープン型＞ | ||||||||||||||
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