技術資料/FAQ
お客様から寄せられる、よくあるご質問を掲載しております。
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製品: 光干渉式膜厚計
- 自動測定の膜厚計に、安全カバーはありますか?
- 膜厚計で基板等の真空吸着ができますか?
- 膜厚計でノッチウエハのマッピング測定ができますか?
- 膜厚計でマッピング測定可能なサンプルサイズは?
- 膜厚計には膜厚測定用テストウエハが付属していますか?
- 膜厚計で透明ではない膜の測定はできますか?
- 膜厚計で表面が鏡面でない基板上の膜の膜厚測定はできますか?
- 膜厚計でSOIウエハの活性層、BOX層の厚み測定はできますか?
- 膜厚計でシリコンウエハの厚み測定はできますか?
- 膜厚計でフイルムの厚み測定はできますか?