技術資料/FAQ
お客様から寄せられる、よくあるご質問を掲載しております。
お客様がお知りになりたい事柄がこちらに掲載されていない場合は、お問合せフォームにて随時受け付けております。
お気軽にご質問ください。
お問合せフォームにて受け付けたご質問は随時掲載していく予定です。
- 現像装置からの薬液の吐出はどのようなノズルですか?
- 現像装置から高圧で薬液吐出をすることは可能ですか?
- リンスライン(純水)を直接現像装置へ接続することは可能ですか?
- 現像装置で使用する薬液の使用量を極力節約したいのですが?
- 現像装置の廃液を薬液とリンス液(純水等)とを完全に分けて回収することは可能ですか?
- 現像装置で使用した薬液の再利用はできますか?
- スプレーとディップ(手動)の違いは何ですか?
- 現像装置で1回の処理に使用する薬液量はどれ位になりますか?
- 現像装置では、どのような薬液が使用可能ですか?
- 現像装置では薬液(現像液/リンス液)は最大何系統まで対応可能ですか?
- 現像装置のチャンバー内の温湿度管理は可能ですか?
- 現像装置は、マイナス温度の温度管理に対応してますか?
- 現像装置は、0.1度の温度制御に対応してますか?
- 現像装置の薬液吐出時の温度精度はどれくらいですか?
- 現像処理時の吐出時薬液温度変化はありますか?
- 現像装置で薬液の温度管理は可能ですか?
- エッチング装置の薬液の吐出はどのようなノズルですか?
- エッチング装置から高圧で薬液吐出をすることは可能ですが?
- リンスライン(純水)を直接エッチング装置へ接続することは可能ですか?
- エッチング装置で使用する薬液の使用量を極力節約したいのですが?
- エッチング装置で使用した廃液を薬液とリンス液(純水等)を完全に分けて回収することは可能ですか?
- エッチング装置で使用した薬液の再利用はできますか?
- エッチング装置で、1回の処理に使用する薬液量はどれ位になりますか?
- エッチング装置では、どのような薬液が使用可能ですか?
- エッチング装置の薬液(エッチング液/リンス液)は最大何系統まで対応可能ですか?
- エッチング装置は、チャンバー内の温湿度管理は可能ですか?
- エッチング装置は、マイナス温度の温度管理に対応してますか?
- エッチング装置は、0.1度の温度制御に対応してますか?
- エッチング装置の薬液吐出時の温度精度はどれくらいですか?
- エッチング処理時の吐出時薬液温度変化はありますか?
- エッチング装置で薬液の温度管理は可能ですか?