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技術資料/FAQ

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薬液

エッチング装置の薬液(エッチング液/リンス液)は最大何系統まで対応可能ですか?

ED-1200で最大4系統(3薬液1リンスなど)、ED-3000で最大6系統(5薬液1リンスなど)まで対応可能です。