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ED-1200

製品案内

フォトリソ現像エッチング装置.comの製品は、研究・開発、少量生産向けに小型化した卓上型の装置です。拡張性に優れ必要なオプションを必要なだけ取り付け使用することが可能です。

フォトリソ用小型エッチング装置 ED-1200

エッチング装置

製品特徴

  • スイングノズル式スプレー(ウェット)エッチング装置
  • 耐薬品を考慮し接液部にPVC(塩ビ)を使用
  • 液晶タッチパネルにてプログラム簡単入力
  • 最大3薬液まで拡張可能
  • エッチング、リンス、振り切りを連続処理
  • 薬液圧送ポンプ内蔵

製品仕様

チャンバー
PVC(塩ビ)製
基板サイズ
φ1インチ~φ6インチ(150×150mm)
薬液圧送
内蔵ポンプ使用
薬液吐出
スプレー吐出(スイングノズル式)
ステップ数
96ステップ(スキップ・コピー機能付)
プログラムモード
10モード
プロセス(標準)
エッチング液:1系統
リンス:1系統
バックリンス:1系統
使用薬液
酸系エッチング液
回転数
0~3,000rpm
インターロック
真空吸着確認センサー
処理室カバーインターロック
ノズル移動オーバーランリミッター
電源
AC100V 4A
寸法(mm/ドア開放時)
550W×440H(740H)×400D
重量
33kg
主要オプション
薬液温度管理システム(加圧方式)
各種基板ホルダー
設置用作業台
PTFE(テフロン)製チャンバー

※仕様は予告なく変更する事がございます。

技術資料 / FAQ