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技術資料/FAQ

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ユーティリティ

エッチング装置で必要になるユーティリティは何ですか?

ED-1200は100V、ED-3000は200V電源が必要です。また仕様にもよりますが、真空、N2(窒素)、純水、廃液回収タンク、排気ラインになります。