opticoat

お気軽にお問い合わせください

03-3433-8216

営業時間 / 9:00~17:00(月~金)(祝祭日除く)

コンセプト

フォトリソ現像エッチング装置.com コンセプト

フォトリソ現像エッチング装置.comは、1980年代以降、スイングノズル式スプレー現像装置・エッチング装置を開発、製品化しました。標準機をベースに様々なオプションを付属させることでお客様の希望に沿える装置提供を目指しております。お客様一人ひとりに向き合い、つねに求められるよきパートナーとして社会に貢献してまいります。

特徴

01
1

1980年代に開発をスタートし、製品化。

半導体現像・エッチング装置.comでは、1980年代に開発をスタートし、現像装置、エッチング装置を製品化して参りました。日本国内はもちろん、中国や台湾など海外にも納入しております。

特徴

02
2

フォトリソ工程の塗布~露光~現像・エッチング、検査まで、ラボ用半導体製造装置をワンストップで提供。

レジスト塗布、露光、現像、エッチングなど、半導体製造の前工程に必要な装置をすべて取り揃え、ワンストップで提供しています。また、スピンコーターは全機種代替機をご用意し、故障時にもすばやく対応するなど、販売後のアフターサポートも万全。更に研究の際に発生する様々な問題に対しても、現場に伺いアドバイスを行っております。どの工程に問題があるのか、どう改善していけばよいのかを、お客様と一緒に考え、解決のヒントを導きだしていきます。単に、装置の販売する会社ではなく、半導体のことを相談できるコンサルタントとして、半導体製造プロセス全体をサポートしていきます。

特徴

03
3

標準機をベースに様々なオプションの取り付けが可能です。

フォトリソ現像エッチング装置.comの現像装置、エッチング装置は薬液の使用温度や操作性、安全性を向上のための各種オプションを用意しております。

オプションの種類対応機種
AD-1200AD-3000ED-1200ED-3000ED-1200TED-3000T
温調ユニット(20℃~60℃)
温調ユニット(30℃~60℃)
パドルノズル
ミストトラップ
加圧タンク(SUS製)
加圧タンク(内面テフロンコート)
加圧タンク用薬液残量重量センサー
キャニスター缶
キャニスター缶(リンス用)
SUS製専用架台
専用ドラフトチャンバー
カスタマイズドラフトチャンバー
有機溶剤対策仕様標準装備標準装備標準装備標準装備標準装備
簡易防爆対策

技術資料 / FAQ