製品案内
フォトリソ現像・エッチング装置.comの製品は、研究・開発、少量生産向けに小型化した卓上型の装置です。
拡張性に優れ必要なオプションを必要なだけ取り付け使用することが可能です。
現像装置AD-1200／AD-3000専用ドラフトチャンバー
製品特徴
- 現像装置AD-1200、AD-3000に特化した専用ドラフトチャンバーです。
- 現像装置の配管やオプションとの接続など取り回しがし易い様な設計としております。
- 下台部にはオプションとして前左右に開閉式扉の取り付けも可能です。
製品仕様
| 外径寸法 | 1800W×1250D×2300H(mm) |
|---|---|
| 前面シャッター作業高さ | 400mm |
| 制御風速 | 0.4m／s |
| 排気風量 | 15.5㎥／min |
| 排気ダンパー | SUS製 250A 相フランジ付 |
| 本体静圧 | 100Pa |
| 本体 | 外装：SS+焼付塗装／内装SUS304 #400相当 |
| 前面シャッター | バランス式2段型開閉扉 強化ガラス t=5mm |
| 側面引き戸 | SS+焼付塗装 |
| 下台部 | フレーム：SUS+焼付塗装／作業台：SUS304 #400相当 |
| 採光部 | 透明ガラス製 |
| 排気ダンパー | SUS製 250A 相フランジ付 |
| 照明 | イエロー光LED 40形 |
| 照明スイッチ | 1連式 |
| コンセント | AC100V 15A 2連式 抜け止め |
| 配線キャップ | φ60㎜ 3ケ所 グロメット |
※ 仕様は予告なく変更することがございます。
オプション
| スライドダンパー付き排気ポート | φ50mm L=50mm ※現像装置本体排気口との接続用 |
|---|---|
| キャスター | 4ケ所 |
| エアーガン | 1個 接続チューブ外径φ6mm |
| 下台部排気 | 2ケ所 |
| 下台部扉 | 前左右 開閉式 |
※ 仕様は予告なく変更することがございます。
