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現像装置専用ドラフトチャンバー

製品案内

フォトリソ現像エッチング装置.comの製品は、研究・開発、少量生産向けに小型化した卓上型の装置です。拡張性に優れ必要なオプションを必要なだけ取り付け使用することが可能です。

現像装置AD-1200/AD-3000専用ドラフトチャンバー

製品特徴

  • 現像装置AD-1200、AD-3000に特化した専用ドラフトチャンバーです。
  • 現像装置の配管やオプションとの接続など取り回しがし易い様な設計としております。
  • 下台部にはオプションとして前左右に開閉式扉の取り付けも可能です。

製品仕様

外径寸法1800W×1250D×2300H(mm)
前面シャッター作業高さ400mm
制御風速0.4m/s
排気風量15.5㎥/min
排気ダンパーSUS製 250A 相フランジ付
本体静圧100Pa
本体外装:SS+焼付塗装/内装SUS304 #400相当
前面シャッターバランス式2段型開閉扉 強化ガラス t=5mm
側面引き戸SS+焼付塗装
下台部フレーム:SUS+焼付塗装/作業台:SUS304 #400相当
採光部透明ガラス製
排気ダンパーSUS製 250A 相フランジ付
照明イエロー光LED 40形
照明スイッチ1連式
制御盤
コンセントAC100V 15A 2連式 抜け止め
配線キャップφ60㎜ 3ケ所 グロメット
レベルアジャスター

※ 仕様は予告なく変更することがございます。

オプション

スライドダンパー付き排気ポートφ50mm L=50mm
※現像装置本体排気口との接続用
キャスター4ケ所
エアーガン1個 接続チューブ外径φ6mm
下台部排気2ケ所
下台部扉前左右 開閉式

※ 仕様は予告なく変更することがございます。

技術資料 / FAQ