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技術資料　／　FAQ

UV光源

御社のマスクアライナーの露光焼付け精度は？

 

機種により異なりますが、膜厚１μｍでL&S１μｍ可能な機種もございます。厚膜の焼付けデータもございますので、別途お問合せ下さい。

 

技術資料（SEM画像）

 

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