多種多様(サイズ・形状・厚み等)な基板に1台で対応。

修理・サポート

マスクアライナー露光装置.com(ミカサ)では、修理メンテナンスの体制が国内外にネットワークがあり、技術サポートの充実を図っております。

メンテナンス体制とエリア

◆国内外のサービスネットワーク
 ・国内2拠点 : 東京:〒105-0011 東京都港区芝公園2丁目8番1号  TEL(03)3433-8216
          大阪:〒533-0033 大阪府大阪市東淀川区東中島1丁目13番35号  TEL(06)6325-5661

 ・海外2拠点 : 中国(上海):牛尾貿易(上海)有限公司 (http://www.ushio.com.cn/)
          台湾(台北):優志旺股有限公司 (https://www.ushio.com.tw/company.html)

◆修理メンテナンス人員
 ・国内8名
 ・海外4名

 

◆技術 + サービス

エリア

サポート

◆マスクアライナーサポート終了機種一覧

MA-10(製造年1998年以前) MA-8C SMAS(V-14)
MA-20(製造年1998年以前) M-400 6C
MA-60F(製造年1998年以前) M-2L  
M-2LF(製造年2003年以前) BS-5  
M-1S(製造年2003年以前) M-200S  
M-3LDF M-3LD  
M-7 BS-120  
MTV-350 BS-65  
BS-7 CMA-1  
MA-8P MA-V  
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