修理・サポート
マスクアライナー露光装置.com(ミカサ)では、修理メンテナンスの体制が国内外にネットワークがあり、技術サポートの充実を図っております。
メンテナンス体制とエリア
◆国内外のサービスネットワーク
・国内2拠点 : 東京:〒105-0011 東京都港区芝公園2丁目8番1号 TEL(03)3433-8216
大阪:〒533-0033 大阪府大阪市東淀川区東中島1丁目13番35号 TEL(06)6325-5661
・海外2拠点 : 中国(上海):牛尾貿易(上海)有限公司 (http://www.ushio.com.cn/)
台湾(台北):優志旺股有限公司 (https://www.ushio.com.tw/company.html)
◆修理メンテナンス人員
・国内8名
・海外4名
◆技術 + サービス
サポート
◆マスクアライナーサポート終了機種一覧
MA-10(製造年1998年以前) | MA-8C | SMAS(V-14) |
MA-20(製造年1998年以前) | M-400 | 6C |
MA-60F(製造年1998年以前) | M-2L | |
M-2LF(製造年2003年以前) | BS-5 | |
M-1S(製造年2003年以前) | M-200S | |
M-3LDF | M-3LD | |
M-7 | BS-120 | |
MTV-350 | BS-65 | |
BS-7 | CMA-1 | |
MA-8P | MA-V |