マスクアライナー露光装置.com コンセプト
マスクアライナー露光装置.comは、1960年代に露光装置の開発、製品化したメーカーです。標準機を持ち、さまざまな塗布材に対する露光検証データを保有して、研究者の方の露光におけるプロセスのサポートをさせて頂きます。
1960年代に開発をスタートし、製品化。
マスクアライナー露光装置.com(ミカサ)では、1960年代に開発をスタートし、マスクアライナーを製品化して参りました。日本国内はもちろん、中国や台湾など海外にも納入しております。
◆歴代のマスクアライナー・露光機
ラボにてワークテスト。弊社エンジニアが導入支援
◆ラボルームにて、テストワーク可能。エンジニアが操作及び内容等のサポートも致します。(無料)
・既存のお客様、装置検討の方 装置の操作説明 |
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<貸し出し時間> |
期間:半日~1日程度 |
◆ワークテストを、弊社エンジニアが代行可能。サンプル、検査報告書等の提出も必要に応じて致します。(無料)
<対応機種> | <成果物> | |||
・スピンコーター(塗布機) | 全機種 | サンプル提示 | ||
・ベーク・熱処理 | ダイレクトホットプレート | サンプル提示 | ||
・露光装置 | MA-20、MA-60F | サンプル提示 | ||
・現像 | AD-1200 | サンプル提示 | ||
・検査・測定 | 膜厚測定 | F50 | 検査報告書提出 | |
線幅測定装置 | MIM-L |
※ワークテスト期間 (ワーク到着後) 1日~1週間 |
修理・メンテナンスは、エンジニアの出張対応可能
◆国内外のサービスネットワーク ・海外2拠点 : 中国(上海):牛尾貿易(上海)有限公司 (http://www.ushio.com.cn/) |
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◆修理メンテナンス人員
◆技術 + サービス |