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フォトリソLab（マスクアライナー）

マスクアライナー露光装置.comの「フォトリソLab」では、スピンコート（塗布）、露光などの各種検証データを保有しております。またイエロールームにてワークテストなどを行い、お客様の実験のサポートに力を入れております。

マスクアライナー露光装置.comの「フォトリソLab」では、さまざまな塗布材の検証データを保有し、実験のサポートが出来る体制とノウハウがございます。

（塗布）●さまざまな塗布材に対する検証データ（膜厚分布）を保有

　　　　●各種レシピを保有している
　　　　　・～100μまでの厚膜を成膜可能
　　　　　・膜厚均一性　　　　　など

＜膜厚分布データ＞

＜膜厚分布データ＞

（露光）●実証データ（レジストパターン）を多数保有

マスクアライナー露光装置.comの「フォトリソLab」では、ラボルームにてワークテストやLabルームの場所の提供が可能です。

◆ラボルームにて、テストワーク可能。エンジニアが操作及び内容等のサポートも致します。（無料）

	・既存のお客様、装置検討の方　　　装置の操作説明・エンジニアが操作及び内容等のサポートもします。・秘密保持の為にお客様だけで使用していただくことも可能です。
	＜貸し出し時間＞	期間：半日～1日程度 9時～17時30分　　　　※その他ご相談ください

◆ワークテストを、弊社エンジニアが代行可能。サンプル、検査報告書等の提出も必要に応じて致します。（無料）

※ワークテスト期間　　　　（ワーク到着後）　１日～1週間
※テスト内容や枚数によって期間が変動します
※内容によってはお受けできない場合もございますので、事前にご相談ください。

マスクアライナー露光装置.comの「フォトリソLab」では、スピンコーター（塗布機）のテスト機の貸し出しを行っております。スピンコーター（塗布機）の全機種をご用意しております。

◆スピンコーター（塗布機）全機種のテスト機を保有しております。　約1週間の貸出が可能です。

●MS-A100
●MS-A150
●MS-A200
●MS-A300
●MS-A200（密閉型）
●MS-A300（密閉型）

＜最大対応サイズ＞
４インチ
６インチ
８インチ
１２インチ
100×100mm
150×150mm

貸し出し機種
貸出期間
貸出条件

：　スピンコーター全機種
：　目安1週間
：　購入検討

FAQ