フォトリソ工程の塗布～露光～現像・エッチング、検査まで、ラボ用半導体製造装置をワンストップで提供

≫運営会社 ≫品質について » プライバシーポリシー » サイトマップ

ホーム > 技術資料　／　FAQ > 製品：マスクアライナー > UV光源 > 御社のマスクアライナーの露光焼付け精度は？

技術資料　／　FAQ

UV光源

御社のマスクアライナーの露光焼付け精度は？

機種により異なりますが、膜厚１μｍでL&S１μｍ可能な機種もございます。厚膜の焼付けデータもございますので、別途お問合せ下さい。

技術資料（SEM画像）

タグ: マスクアライナー

» 技術資料　／　FAQ 一覧へ戻る

お問い合わせはお気軽に！フォトリソグラフィ.comを、ご覧頂きまして誠にありがとうございます。成膜・露光装置等のことなら「フォトリソグラフィ.com」にお任せ下さい！