技術資料 ／ FAQ
お客様から寄せられる、よくあるご質問を掲載しております。
お客様がお知りになりたい事柄がこちらに掲載されていない場合は、お問合せフォームにて随時受け付けております。
お気軽にご質問ください。
お問合せフォームにて受け付けたご質問は随時掲載していく予定です。
製品： スピンコーター
基板
試料台(チャックホルダー)
オプション
修理
- スピンコーターが回転動作しなくなりました。電源はONになりプログラムを入力することも可能です。ただスタートボタンを押しても回転動作が始まらず、時間のカウントも始まりません。そして数秒後、終了の音が鳴ります。
- スピンコーターの電源をONにしても初期動作(１回転)せず、ビービーとエラー音が鳴って動作させることができません。
- 真空ポンプをONにするとスピンコーター本体の電源に関わらず真空が吸った状態になってしまいます。
- スピンコーターの回転などの表示部に【Oerr】とエラーメッセージが表示されます。どのようなエラーでしょうか？
- スピンコーターの回転などの表示部に【Serr】とエラーメッセージが表示されます。どのようなエラーでしょうか？
- スピンコート中に基板が頻繁に飛んでしまうのですが、どうしたら良いでしょうか？
その他
- 御社のスピンコーターの膜厚対応範囲を教えてください
- スピンコーターのチャンバー内で加温は可能ですか？
- 試料を加熱しながら塗布することはできますか？
- スピンコーターのチャンバー内の雰囲気制御はできますか？
- 膜厚分布の保証値を教えてください
- 御社のスピンコーターはグローブＢＯＸ内で使用可能ですか？
- スピンコーターで簡易的に現像できませんか？
- 御社のスピンコーターは、酸性の塗布材料に対応して防錆仕様ですか？
- 取扱説明書を紛失してしまいました。
- スピンコーターにおいて使用されている主な塗布材はどのようなものがありますか？
- スピンコーターの導入を検討しておりますが、その前にレンタル、もしくは受託加工をいただくことは可能ですか？
- 国内で購入したスピンコーターを海外へ持っていきたいのですが可能でしょうか？
- チャンバー内の温度を上げる事はできますか？
- 防爆タイプの装置は有りますか？
- MS-AとMS-Bとの違いは何ですか？
技術資料（成膜データ）
製品： マスクアライナー
基板
UV光源
技術資料（各種動画）
製品： 現像装置
薬液
温度管理
ユーティリティ
その他
技術資料（SEM画像）
製品：エッチング装置
価格
デモ/ワークテスト
本体
基板
薬液
- エッチング装置の薬液(エッチング液/リンス液)は最大何系統まで対応可能ですか?
- エッチング装置では、どのような薬液が使用可能ですか?
- エッチング装置で、１回の処理に使用する薬液量はどれ位になりますか?
- エッチング装置で使用した薬液の再利用はできますか?
- エッチング装置で使用した廃液を薬液とリンス液(純水等)を完全に分けて回収することは可能ですか?
- エッチング装置で使用する薬液の使用量を極力節約したいのですが?
- リンスライン(純水)を直接エッチング装置へ接続することは可能ですか?
- エッチング装置から高圧で薬液吐出をすることは可能ですが?
- エッチング装置の薬液の吐出はどのようなノズルですか?
温度管理
- エッチング装置で薬液の温度管理は可能ですか?
- エッチング処理時の吐出時薬液温度変化はありますか?
- エッチング装置の薬液吐出時の温度精度はどれくらいですか?
- エッチング装置は、0.1度の温度制御に対応してますか?
- エッチング装置は、マイナス温度の温度管理に対応してますか?
- エッチング装置は、チャンバー内の温湿度管理は可能ですか?
ユーティリティ
その他
- 現像液とエッチング液を同一の装置で処理することは可能ですか?
- エッチング装置に搬送装置を取り付けることは可能ですか?
- エッチング装置で両面一括処理は可能ですか?
- どれくらいの期間で定期メンテナンスは必要ですか?
- メンテナンス体制はどうなっていますか?
技術情報（各種動画）
製品： 段差計
一般的内容
仕様・スペック
- 段差計の最大測定長さは。
- 段差計の使用可能なサンプルサイズを知りたい。
- 段差計には防振台がありますか？
- PCのOSを知りたい
- 段差計の装置の外形寸法及び重量を知りたい。
- 段差計に必要なユーティリティを知りたい。
- 段差計には風防カバーがありますか？
- 段差計で3D形状測定ができますか？
測定について
- 段差計の最低測定荷重はどのくらいですか?
- 段差検出範囲を知りたい
- 段差計で粗さ測定ができますか？
- 段差の標準片は、付属していますか？
- 触針式段差計ですと、触針によりキズがついてしまうことはないのですか？
- 段差計(ET200･ET4000)で基板のそり・うねり測定はできますか？
- 段差計(ET200･ET4000)で、湿ったサンプルの測定が出来ますか？
- 段差計(ET200･ET4000)で、タック性(粘着性）のある膜の測定ができますか？
- 段差計(ET200･ET4000)で、膜厚の測定が出来ますか？
- 段差計(ET200･ET4000)で、最大何μmまで段差測定ができますか？
- 段差計(ET200･ET4000)で、最低 何nmまでの微小段差測定ができますか？
- 段差計(ET200･ET4000)で、多層膜の膜厚測定は出来ますか？
- 差動トランス（直動式）検出器とは、どの様なものですか？
- 測定結果を別のパソコンで解析できますか？
使い方
メンテナンス・サポート
製品： 光干渉式膜厚計
一般的内容
使い方
スペック・仕様
- 膜厚分布のマッピングができますか?
- 膜厚計には膜厚測定用テストウエハが付属していますか?
- 膜厚計でマッピング測定可能なサンプルサイズは?
- 膜厚計でノッチウエハのマッピング測定ができますか?
- 膜厚計で基板等の真空吸着ができますか?
- 自動測定の膜厚計に、安全カバーはありますか?
測定について
- 膜表面に接触しますか?
- 膜厚計でレジストが、感光しないように測定できますか？
- 膜厚計でタック性(粘着性）のある膜の測定ができますか?
- 膜厚計の測定スポットの径は？
- 膜厚計の測定時間はどの位ですか?
- 膜厚計の中で、厚い膜（100μm以上）に適した機種はありますか?
- 膜厚計の中で、薄い膜(数十nm以下)の膜厚測定に適した機種はありますか?
- 膜厚計で多層膜の測定が出来ますか。
- 膜厚計で凹凸基板表面の膜厚測定ができますか?
- 膜厚計で円筒形の表面の膜厚を測定することはできますか？
- 膜厚計でレンズのコーティングの膜厚測定はできますか?
- 手動でφ12インチウエハの膜厚測定ができますか。
- 膜厚計でフイルムの厚み測定はできますか?
- 膜厚計でシリコンウエハの厚み測定はできますか?
- 膜厚計でSOIウエハの活性層、BOX層の厚み測定はできますか?
- 膜厚計で表面が鏡面でない基板上の膜の膜厚測定はできますか?
- 膜厚計で透明ではない膜の測定はできますか？
技術的内容
その他
