技術資料 / FAQ
使い方
膜厚計には消耗品がありますか?
【OPTM series】
光源のランプ、Alリファレンスなどが消耗品になります。
ランプの寿命は、ハロゲンランプで1200h、重水素ランプで2000hが目安となります。
Alリファレンスはクリーンルームなどで汚れなければ比較的長期間使用いただく事も可能です。手先で反射面を触らない様に気を付けてご使用願います。
膜厚計には消耗品がありますか? | 光干渉式膜厚計のフォトリソグラフィ.com
【OPTM series】
光源のランプ、Alリファレンスなどが消耗品になります。
ランプの寿命は、ハロゲンランプで1200h、重水素ランプで2000hが目安となります。
Alリファレンスはクリーンルームなどで汚れなければ比較的長期間使用いただく事も可能です。手先で反射面を触らない様に気を付けてご使用願います。