技術資料 / FAQ
試料台(チャックホルダー)
スピンコーター用試料台(チャックホルダー)の材質にはどのような種類がありますか?
基本は、軸部分がPOM製、吸着面がアルミ製です。
その他POM製やテフロン製もございます。
他の材質【ステンレス製・PEEK製・塩ビ製】に、つきましてもお気軽にご相談ください。
その他FAQ 試料台(チャックホルダー)
- 標準的な試料台(チャックホルダー)などはありますか?納期はどれくらいですか?
- スピンコーターで使用可能な角(□)や丸(Φ)以外の形状の基板に対応できる試料台(チャックホルダー)には、どのような種類がありますか?
- スピンコーター用試料台(チャックホルダー)で、基板の固定方法にはどのような方式がありますか。
- スピンコーター用試料台(チャックホルダー)の材質にはどのような種類がありますか?
- スピンコーター用試料台(チャックホルダー)は全ての機種で互換性がありますか。
- 試料台(チャックホルダー)の材質の違いによるメリットとデメリットは何ですか?
- スピンコーター用試料台(チャックホルダー)の材質の選び方