現像装置で使用する薬液の使用量を極力節約したいのですが? | 現像装置のフォトリソグラフィ.com
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パドル現像という方式がございます。基板上に表面張力で薬液を載せる方式です。スプレー現像と比べ薬液使用量が約1/10に抑えることが可能です。
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